Karakteristike magnetronskog raspršivanja premaza
(3) Raspršivanje niske energije. Zbog niskog napona katode primijenjenog na metu, plazma je vezana magnetskim poljem u prostoru blizu katode, čime se inhibiraju visokoenergetske nabijene čestice sa strane supstrata koje su pogođene. Stoga je stupanj oštećenja supstrata, poput poluvodičkih uređaja, uzrokovan bombardiranjem nabijenim česticama, niži od onog uzrokovanog drugim metodama raspršivanja.
(4) Niska temperatura podloge. Brzina raspršivanja magnetronskim raspršivanjem je visoka jer se katoda meta nalazi u magnetskom polju unutar područja, odnosno na stazi za izbijanje mete unutar malog lokaliziranog područja, gdje je koncentracija elektrona visoka, dok je izvan područja magnetskog efekta, posebno daleko od magnetskog polja obližnje površine podloge, koncentracija elektrona zbog disperzije znatno niža, a može biti i niža od dipolnog raspršivanja (zbog razlike u tlaku dva radna plina od reda veličine). Stoga je pod uvjetima magnetronskog raspršivanja koncentracija elektrona koji bombardiraju površinu podloge znatno niža nego kod običnog diodnog raspršivanja, a izbjegava se prekomjerno povećanje temperature podloge zbog smanjenja broja elektrona koji padaju na podlogu. Osim toga, kod metode magnetronskog raspršivanja, anoda magnetronskog raspršivača može se nalaziti u blizini katode, a držač supstrata također može biti neuzemljen i u suspenzijskom potencijalu, tako da elektroni ne mogu prolaziti kroz uzemljeni držač supstrata i teći kroz anodu, čime se smanjuje broj visokoenergetskih elektrona koji bombardiraju presvučeni supstrat, smanjuje se porast topline supstrata uzrokovan elektronima i znatno se smanjuje sekundarno bombardiranje supstrata elektronima što rezultira stvaranjem topline.
(5) Neravnomjerno jetkanje mete. Kod tradicionalne magnetronske mete za raspršivanje, korištenje neravnomjernog magnetskog polja stvara lokalni konvergencijski efekt plazme, što uzrokuje veliku brzinu jetkanja raspršivanjem mete na lokalnom položaju, što rezultira značajno neravnomjernim jetkanjem mete. Stopa iskorištenja mete općenito je oko 30%. Kako bi se poboljšala stopa iskorištenja materijala mete, mogu se poduzeti razne mjere poboljšanja, poput poboljšanja oblika i raspodjele magnetskog polja mete, tako da se magnet unutar katode mete kreće i tako dalje.
Teškoće u raspršivanju meta od magnetskog materijala. Ako je meta za raspršivanje izrađena od materijala s visokom magnetskom permeabilnošću, magnetske linije sile će prolaziti izravno kroz unutrašnjost mete i doći će do pojave kratkog spoja, što će otežati magnetsko pražnjenje. Kako bi se generiralo prostorno magnetsko polje, ljudi su proveli niz istraživanja, na primjer, kako bi se zasitilo magnetsko polje unutar materijala mete, ostavljajući mnogo praznina u meti kako bi se potaknulo stvaranje većeg propuštanja magnetske mete zbog povećanja temperature ili kako bi se smanjila magnetska permeabilnost materijala mete.
–Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 01.12.2023.