उपकरण इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण तकनीक को अपनाता है। कैथोड फिलामेंट से इलेक्ट्रॉन उत्सर्जित होते हैं और एक निश्चित बीम करंट में केंद्रित होते हैं, जो कैथोड और क्रूसिबल के बीच की क्षमता से त्वरित होकर कोटिंग सामग्री को पिघलाकर वाष्पित कर देता है। इसमें उच्च ऊर्जा घनत्व की विशेषताएँ होती हैं और यह 3000 ℃ से अधिक के गलनांक वाली कोटिंग सामग्री को वाष्पित कर सकता है। फिल्म में उच्च शुद्धता और उच्च तापीय क्षमता होती है।
उपकरण इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण स्रोत, आयन स्रोत, फिल्म मोटाई निगरानी प्रणाली, फिल्म मोटाई सुधार संरचना और स्थिर छाता वर्कपीस रोटेशन प्रणाली से सुसज्जित है। आयन स्रोत सहायक कोटिंग के माध्यम से, फिल्म की कॉम्पैक्टनेस बढ़ जाती है, अपवर्तक सूचकांक स्थिर हो जाता है, और नमी के कारण तरंगदैर्ध्य बदलाव की घटना से बचा जाता है। पूर्ण-स्वचालित फिल्म मोटाई वास्तविक समय निगरानी प्रणाली प्रक्रिया की पुनरावृत्ति और स्थिरता सुनिश्चित कर सकती है। यह ऑपरेटर के कौशल पर निर्भरता को कम करने के लिए स्व-पिघलने के कार्य से सुसज्जित है।
उपकरण विभिन्न ऑक्साइड और धातु कोटिंग सामग्री पर लागू होता है, और इसे बहु-परत सटीक ऑप्टिकल फिल्मों के साथ लेपित किया जा सकता है, जैसे एआर फिल्म, लंबी तरंग पास, लघु तरंग पास, ब्राइटनिंग फिल्म, एएस / एएफ फिल्म, आईआरसीयूटी, रंग फिल्म प्रणाली, ग्रेडिएंट फिल्म प्रणाली, आदि। इसका व्यापक रूप से एआर ग्लास, ऑप्टिकल लेंस, कैमरा, ऑप्टिकल लेंस, फिल्टर, सेमीकंडक्टर उद्योग आदि में उपयोग किया गया है।