Feartan còmhdach sputtering magnetron
(3) Spùtadh lùth ìseal. Air sgàth bholtaids ìosal a’ chatòid a chuirear air an targaid, tha am plasma ceangailte leis an raon magnetach san àite faisg air a’ chatòid, agus mar sin a’ cur bacadh air na mìrean àrd-lùth a thèid a chur ri taobh an t-substrate a bhios daoine a’ losgadh. Mar sin, tha an ìre milleadh air an t-substrate leithid innealan leth-chonnsachaidh air adhbhrachadh le bomadh mìrean luchdaichte nas ìsle na an ìre milleadh air adhbhrachadh le dòighean spùtadh eile.
(4) Teòthachd ìosal an t-substrate. Tha ìre spùtadh magnetron àrd, leis gu bheil dùmhlachd electron àrd aig an targaid catod anns an raon magnetach taobh a-staigh na sgìre, is e sin, an ruith-rathaid sgaoilidh targaid taobh a-staigh raon beag ionadail, agus anns an raon buaidh magnetach taobh a-muigh na sgìre, gu sònraichte air falbh bhon raon magnetach air uachdar an t-substrate faisg air làimh, tha dùmhlachd electron mar thoradh air sgaoileadh mòran nas ìsle, agus is dòcha eadhon nas ìsle na an spùtadh dipole (air sgàth an eadar-dhealachaidh eadar cuideam an dà ghas obrach de òrdugh meudachd). Mar sin, fo chumhachan spùtadh magnetron, tha dùmhlachd electronan a’ bomadh uachdar an t-substrate mòran nas ìsle na ann an spùtadh diode àbhaisteach, agus thathas a’ seachnadh àrdachadh ro mhòr ann an teòthachd an t-substrate air sgàth lùghdachadh ann an àireamh nan electronan a tha a’ tuiteam air an t-substrate. A bharrachd air an sin, anns an dòigh sputtering magnetron, faodar anod an inneil sputtering magnetron a shuidheachadh timcheall air a’ chatod, agus faodar neach-gleidhidh an t-substrate a bhith gun talamh agus ann an comas crochte, gus nach tèid na dealanan tron neach-gleidhidh t-substrate talmhaichte agus gun sruth iad air falbh tron anod, agus mar sin a’ lughdachadh nan dealanan àrd-lùtha a bhios a’ bomadh an t-substrate phlàtaichte, a’ lughdachadh an àrdachadh ann an teas an t-substrate air adhbhrachadh leis na dealanan, agus a’ lughdachadh gu mòr bomadh dealanach àrd-sgoile an t-substrate a tha ag adhbhrachadh gineadh teas.
(5) Greanadh neo-chothromach na targaid. Anns an targaid sputtering magnetron traidiseanta, nuair a thathar a’ cleachdadh raon magnetach neo-chothromach, bidh am plasma a’ toirt a-mach buaidh co-chruinneachaidh ionadail, agus mar sin bidh an targaid aig ìre greanadh sputtering àrd air an t-suidheachadh ionadail, agus mar thoradh air sin bidh an targaid a’ toirt a-mach greanadh neo-chothromach mòr. Mar as trice, tha ìre cleachdaidh na targaid mu 30%. Gus ìre cleachdaidh stuth na targaid a leasachadh, faodar grunn cheumannan leasachaidh a ghabhail, leithid cumadh agus sgaoileadh raon magnetach na targaid a leasachadh, gus am bi am magnet a’ gluasad a-staigh ann an catod na targaid agus mar sin air adhart.
Duilgheadas ann a bhith a’ spùtadh targaidean stuthan magnetach. Ma tha an targaid spùtadh air a dhèanamh de stuth le treòiteachd magnetach àrd, thèid na loidhnichean feachd magnetach dìreach tro thaobh a-staigh na targaid gus geàrr-chuairt magnetach tachairt, agus mar sin bidh sgaoileadh magnetron duilich. Gus an raon magnetach fànais a chruthachadh, tha daoine air grunn sgrùdaidhean a dhèanamh, mar eisimpleir, gus an raon magnetach a shàthadh taobh a-staigh an stuth targaid, a’ fàgail mòran bheàrnan anns an targaid gus barrachd aodion a bhrosnachadh le àrdachadh teòthachd targaid magnetach, no gus treòiteachd magnetach an stuth targaid a lughdachadh.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: Dùbhlachd-01-2023