Is é príomhghné an mhodha galúcháin folúis le haghaidh scannáin a thaisceadh an ráta ard taiscthe. Is é príomhghné an mhodha spútartha an raon leathan ábhar scannáin atá ar fáil agus aonfhoirmeacht mhaith an chiseal scannáin, ach tá an ráta taiscthe íseal. Is modh é sciath ian a chomhcheanglaíonn an dá phróiseas seo.
Prionsabal sciath ian agus coinníollacha foirmithe scannáin
Taispeántar prionsabal oibre sciath ian sa phictiúr. Déantar an seomra folúis a phumpáil go brú faoi bhun 10-4 Pa, agus ansin líontar é le gás támh (m.sh. argón) go brú 0.1~1 Pa. Tar éis voltas DC diúltach suas le 5 kV a chur i bhfeidhm ar an tsubstráit, bunaítear crios plasma urscaoilte gáis ísealbhrú idir an tsubstráit agus an breogán. Luasghéaraíonn an réimse leictreach na hiain gháis támh agus buamálann siad dromchla an tsubstráit, rud a ghlanann dromchla an phíosa oibre. Tar éis an próiseas glantacháin seo a bheith críochnaithe, tosaíonn an próiseas sciath le galú an ábhair atá le sciath sa bhreogán. Téann na cáithníní gaile galaithe isteach sa chrios plasma agus imbhuaileann siad leis na hiain agus na leictreoin támha dearfacha dícheangailte, agus dícheangailtear cuid de na cáithníní gaile agus buamálann siad an píosa oibre agus dromchla an sciath faoi luasghéarú an réimse leictrigh. Sa phróiseas plátála ian, ní hamháin go ndéantar taisceadh ach déantar spútaradh ian dearfach ar an tsubstráit freisin, mar sin ní féidir an scannán tanaí a fhoirmiú ach amháin nuair a bhíonn an éifeacht taiscthe níos mó ná an éifeacht spútaradh.
Tá an próiseas sciath ian, ina mbíonn an tsubstráit buamáilte i gcónaí le hiain ardfhuinnimh, an-ghlan agus tá roinnt buntáistí aige i gcomparáid le sciath spútarála agus galúcháin.
(1) Greamaitheacht láidir, ní scaoileann an ciseal sciath go héasca.
(a) Sa phróiseas sciath ian, úsáidtear líon mór cáithníní ardfhuinnimh a ghintear ón urscaoileadh lonrach chun éifeacht spútaireachta catóideach a tháirgeadh ar dhromchla an tsubstráit, ag spútaireacht agus ag glanadh an gháis agus an ola atá ionsúite ar dhromchla an tsubstráit chun dromchla an tsubstráit a íonú go dtí go mbeidh an próiseas sciath iomlán críochnaithe.
(b) Ag céim luath an sciath, bíonn spútaradh agus taisceadh ann le chéile, agus is féidir leo ciseal idirthréimhseach comhpháirteanna a fhoirmiú ag comhéadan bhonn an scannáin nó meascán den ábhar scannáin agus den ábhar bonn, ar a dtugtar “ciseal bréag-idirleata”, rud a fhéadann feidhmíocht ghreamaitheachta an scannáin a fheabhsú go héifeachtach.
(2) Airíonna maithe fillte. Cúis amháin is ea go ndéantar adaimh an ábhair sciath a ianú faoi bhrú ard agus go mbuaileann siad le móilíní gáis arís agus arís eile le linn an phróisis chun an tsubstráit a bhaint amach, ionas gur féidir iain an ábhair sciath a scaipeadh timpeall an tsubstráit. Ina theannta sin, déantar na hadaimh ianaithe ábhair sciath a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit faoi ghníomhaíocht réimse leictreach, mar sin déantar an tsubstráit iomlán a thaisceadh le scannán tanaí, ach ní féidir leis an sciath galúcháin an éifeacht seo a bhaint amach.
(3) Is mar gheall ar spútaradh comhdhlúthán de bharr buamáil leanúnach an scannáin thaiscthe le hiain dhearfacha atá ardchaighdeán an sciath, rud a fheabhsaíonn dlús an tsraith sciath.
(4) Is féidir rogha leathan ábhar sciath agus foshraitheanna a sciathú ar ábhair mhiotalacha nó neamh-mhiotalacha.
(5) I gcomparáid le taisceadh gaile ceimiceach (CVD), tá teocht foshraithe níos ísle aige, faoi bhun 500°C de ghnáth, ach tá a neart greamaitheachta inchomparáide go hiomlán le scannáin taisceadh gaile ceimiceach.
(6) Ráta ard taiscthe, foirmiú scannán tapa, agus d'fhéadfadh tiús sciath scannán a bheith ó dheich nanaiméadar go micrón.
Is iad na míbhuntáistí a bhaineann le sciath ian ná: ní féidir tiús an scannáin a rialú go beacht; bíonn tiúchan na lochtanna ard nuair a bhíonn sciath mín ag teastáil; agus rachaidh gáis isteach sa dromchla le linn sciath, rud a athróidh airíonna an dromchla. I gcásanna áirithe, cruthaítear cuasa agus núicléis (níos lú ná 1 nm) freisin.
Maidir le ráta taiscthe, tá sciath ian inchomparáide leis an modh galúcháin. Maidir le cáilíocht scannáin, tá na scannáin a tháirgtear trí sciath ian gar do na scannáin a ullmhaítear trí spútaradh nó níos fearr ná iad.
Am an phoist: 08 Samhain 2022