Saintréithe sciath spútála maighnéadrón
(3) Spútaráil ísealfhuinnimh. Mar gheall ar an voltas íseal catóide a chuirtear i bhfeidhm ar an sprioc, tá an plasma ceangailte ag an réimse maighnéadach sa spás in aice leis an gcatóid, rud a chuireann cosc ar na cáithníní luchtaithe ardfhuinnimh a scaoileadh ar thaobh an tsubstráit a lámhaítear. Dá bhrí sin, tá an méid damáiste don tsubstráit amhail feistí leathsheoltóra de bharr buamáil cáithníní luchtaithe níos ísle ná an méid damáiste a dhéantar le modhanna spútarála eile.
(4) Teocht íseal an tsubstráit. Tá ráta ard spútaireachta an mhaighnéadróin, toisc go bhfuil tiúchan ard leictreon sa réimse maighnéadach laistigh den réigiún, is é sin, an rúidbhealach urscaoilte sprice laistigh de limistéar beag áitiúil, agus sa réigiún lasmuigh den éifeacht mhaighnéadach, go háirithe ar shiúl ó réimse maighnéadach dhromchla an tsubstráit in aice láimhe, tá tiúchan na leictreon mar gheall ar scaipeadh i bhfad níos ísle, agus d'fhéadfadh sé a bheith níos ísle ná an spútaireacht dépholach (mar gheall ar an difríocht idir brú oibre an dá ghás d'ord méide). Dá bhrí sin, faoi choinníollacha spútaireachta maighnéadróin, tá tiúchan na leictreon a bhuaileann dromchla an tsubstráit i bhfad níos ísle ná mar atá i spútaireacht dé-óid ghnáth, agus seachnaítear méadú iomarcach ar theocht an tsubstráit mar gheall ar an laghdú ar líon na leictreon a théann i bhfeidhm ar an tsubstráit. Ina theannta sin, sa mhodh spútarála maighnéadróin, is féidir anóid an fheiste spútarála maighnéadróin a lonnú timpeall ar chomharsanacht an chatóide, agus is féidir sealbhóir an tsubstráit a bheith neamh-thalmhaithe agus i bpotensiúl fionraí freisin, ionas nach féidir leis na leictreoin dul tríd an sealbhóir tsubstráit talmhaithe agus sreabhadh amach tríd an anóid, rud a laghdaíonn na leictreoin ardfhuinnimh atá ag buamáil an tsubstráit phlátáilte, rud a laghdaíonn an méadú ar theas an tsubstráit de bharr na leictreon, agus a laghdaíonn go mór an buamáil leictreon tánaisteach ar an tsubstráit a eascraíonn i nginiúint teasa.
(5) Greanadh míchothrom na sprice. Sa sprioc spútarála maighnéadrón traidisiúnta, nuair a úsáidtear réimse maighnéadach míchothrom, beidh éifeacht chomhtháthaithe áitiúil ag an plasma, rud a fhágfaidh go mbeidh an ráta greanadh spútarála ag an sprioc ar shuíomh áitiúil an-mhaith, agus mar thoradh air sin, beidh greanadh míchothrom suntasach ag an sprioc. Is gnách go mbíonn ráta úsáide na sprice thart ar 30%. Chun ráta úsáide ábhar na sprice a fheabhsú, is féidir bearta feabhsúcháin éagsúla a dhéanamh, amhail cruth agus dáileadh réimse maighnéadach na sprice a fheabhsú, ionas go mbeidh gluaiseacht inmheánach an mhaighnéid i gcatóid na sprice, agus mar sin de.
Deacracht i spútaráil spriocanna ábhair mhaighnéadaigh. Má tá an sprioc spútarála déanta as ábhar a bhfuil tréscaoilteacht mhaighnéadach ard aige, rachaidh na línte fórsa maighnéadacha go díreach tríd an taobh istigh den sprioc chun feiniméan gearrchiorcaid mhaighnéadaigh a tharlú, rud a fhágann go bhfuil sé deacair urscaoileadh maighnéadrón a dhéanamh. Chun an réimse maighnéadach spáis a ghiniúint, tá réimse staidéar déanta ag daoine, mar shampla, chun an réimse maighnéadach taobh istigh den ábhar sprice a sháithiú, rud a fhágann go leor bearnaí sa sprioc chun sceitheadh níos mó a chur chun cinn, méaduithe teochta sprice maighnéadaí, nó chun tréscaoilteacht mhaighnéadach an ábhair sprice a laghdú.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: 1 Nollaig 2023