Ionencoatingtechnology

It wichtichste skaaimerk fan 'e fakuümferdampingsmetoade foar it ôfsetten fan films is de hege ôfsettingssnelheid. It wichtichste skaaimerk fan 'e sputtermetoade is it brede oanbod fan beskikbere filmmaterialen en de goede uniformiteit fan 'e filmlaach, mar de ôfsettingssnelheid is leech. Ioncoating is in metoade dy't dizze twa prosessen kombinearret.

Prinsipe fan ioncoating en betingsten foar filmfoarming
It wurkprinsipe fan ioncoating wurdt werjûn yn 'e ôfbylding. De fakuümkeamer wurdt pompt nei in druk ûnder 10-4 Pa, en dan fol mei inert gas (bygelyks argon) oant in druk fan 0.1~1 Pa. Nei't in negative gelijkspanning fan maksimaal 5 kV op it substraat tapast wurdt, wurdt in lege druk gasgloedûntladingsplasmasône oprjochte tusken it substraat en de kroes. De inerte gasionen wurde fersneld troch it elektryske fjild en bombardearje it oerflak fan it substraat, wêrtroch it oerflak fan it wurkstik skjinmakke wurdt. Nei't dit skjinmeitsproses foltôge is, begjint it coatingproses mei de ferdamping fan it materiaal dat coated wurde moat yn 'e kroes. De ferdampte dampdieltsjes komme de plasmasône yn en botsje mei de dissosiearre inerte positive ioanen en elektroanen, en guon fan 'e dampdieltsjes wurde dissosiearre en bombardearje it wurkstik en it coatingoerflak ûnder de fersnelling fan it elektryske fjild. Yn it ionplateringsproses is der net allinich ôfsetting, mar ek sputtering fan positive ioanen op it substraat, sadat de tinne film allinich foarme wurde kin as it ôfsettingseffekt grutter is as it sputtereffekt.

It ioncoatingproses, wêrby't it substraat altyd bombardearre wurdt mei hege-enerzjy-ionen, is tige skjin en hat in oantal foardielen yn ferliking mei sputterjen en ferdampingscoating.

(1) Sterke hechting, de coatinglaach skillet net maklik ôf.
(a) Yn it ioncoatingproses wurde in grut oantal heechenerzjypartikels dy't generearre wurde troch de gloeiûntlading brûkt om in kathodysk sputtereffekt te produsearjen op it oerflak fan it substraat, wêrby't it gas en de oalje dy't op it oerflak fan it substraat adsorbearre binne, sputtere en skjinmakke wurde om it substraatoerflak te suverjen oant it heule coatingproses foltôge is.
(b) Yn it iere stadium fan coating besteane sputterjen en ôfsetting neist elkoar, wat in oergongslaach fan komponinten kin foarmje op it ynterface fan 'e filmbasis of in mingsel fan it filmmateriaal en it basismateriaal, neamd "pseudo-diffúzjelaach", wat de hechtingsprestaasjes fan 'e film effektyf kin ferbetterje.
(2) Goede omslacheigenskippen. Ien reden is dat de atomen fan it coatingmateriaal ûnder hege druk ionisearre wurde en ferskate kearen botsje mei gasmolekulen tidens it berikken fan it substraat, sadat de ionen fan it coatingmateriaal om it substraat ferspraat wurde kinne. Derneist wurde de ionisearre atomen fan it coatingmateriaal ûnder ynfloed fan in elektrysk fjild op it oerflak fan it substraat ôfset, sadat it heule substraat mei in tinne film ôfset wurdt, mar ferdampingscoating kin dit effekt net berikke.
(3) De hege kwaliteit fan 'e coating is te tankjen oan it sputterjen fan kondensaten feroarsake troch it konstante bombardement fan 'e ôfsette film mei positive ioanen, wat de tichtheid fan 'e coatinglaach ferbetteret.
(4) In brede seleksje fan coatingmaterialen en substraten kin wurde coated op metalen of net-metalen materialen.
(5) Yn ferliking mei gemyske dampôfsetting (CVD) hat it in legere substraattemperatuer, typysk ûnder 500 °C, mar syn hechtsterkte is folslein te fergelykjen mei gemyske dampôfsettingsfilms.
(6) Hege ôfsettingssnelheid, rappe filmfoarming, en koe de dikte fan films fan tsientallen nanometers oant mikrons fariearje.

De neidielen fan ioncoating binne: de dikte fan 'e film kin net presys kontroleare wurde; de ​​konsintraasje fan defekten is heech as in fyn coating nedich is; en gassen sille it oerflak yngean tidens it coaten, wat de oerflakeigenskippen feroaret. Yn guon gefallen wurde ek holtes en kearnen (minder as 1 nm) foarme.

Wat de ôfsettingssnelheid oanbelanget, is ioncoating te fergelykjen mei de ferdampingsmetoade. Wat de filmkwaliteit oanbelanget, binne de films produsearre troch ioncoating tichtby of better as dy taret troch sputtering.