1. Caractéristiques du flux d'électrons de la lumière d'arc
La densité des flux d'électrons, des flux d'ions et des atomes neutres de haute énergie dans le plasma d'arc généré par décharge d'arc est bien supérieure à celle de la décharge luminescente. L'espace de revêtement contient davantage d'ions gazeux et d'ions métalliques ionisés, d'atomes de haute énergie excités et de divers groupes actifs, qui jouent un rôle important dans les étapes de chauffage, de nettoyage et de revêtement. Le mode d'action du flux d'électrons d'arc diffère de celui du faisceau d'ions : ils ne convergent pas tous en un « faisceau », mais sont généralement divergents ; c'est pourquoi on parle de flux d'électrons d'arc. Comme les électrons d'arc se dirigent vers l'anode, le flux d'électrons d'arc est dirigé là où l'électrode positive de l'alimentation de l'arc est connectée. L'anode peut être une pièce, une anode auxiliaire, un creuset, etc.
2. Méthode de génération d'un flux d'électrons d'arc
(1) La source de gaz génère un flux d'électrons d'arc : le courant d'arc de la décharge d'arc à cathode creuse et de la décharge d'arc à fil chaud peut atteindre environ 200 A et la tension d'arc est de 50 à 70 V.
(2) La source solide génère un flux d'électrons d'arc : source d'arc cathodique, y compris la petite source d'arc, la source d'arc cylindrique, la grande source d'arc plane rectangulaire, etc. Le courant d'arc de chaque décharge de source d'arc cathodique est de 80 à 200 A et la tension d'arc est de 18 à 25 V.
Le flux d'électrons d'arc à haute densité et à faible énergie dans deux types de plasmas de décharge d'arc peut générer une ionisation par collision intense avec des atomes de gaz et de film métallique, obtenant plus d'ions de gaz, d'ions métalliques et divers atomes et groupes actifs à haute énergie, améliorant ainsi l'activité globale des ions de la couche de film.
–Cet article a été publié par Guangdong Zhenhua, unfabricant de machines de revêtement sous vide
Date de publication : 31 mai 2023