L'équipement utilise la technologie d'évaporation par faisceau d'électrons. Les électrons sont émis par le filament cathodique et focalisés dans un courant de faisceau spécifique, accéléré par le potentiel entre la cathode et le creuset pour faire fondre et évaporer le matériau de revêtement. L'équipement présente une densité énergétique élevée et permet l'évaporation du matériau de revêtement dont le point de fusion est supérieur à 3000 °C. Le film présente une grande pureté et un rendement thermique élevé.
L'équipement est équipé d'une source d'évaporation par faisceau d'électrons, d'une source d'ions, d'un système de surveillance de l'épaisseur du film, d'une structure de correction de l'épaisseur du film et d'un système de rotation stable de la pièce à usiner. Le revêtement assisté par source d'ions améliore la compacité du film, stabilise l'indice de réfraction et évite le phénomène de décalage de longueur d'onde dû à l'humidité. Le système de surveillance en temps réel et entièrement automatique de l'épaisseur du film garantit la répétabilité et la stabilité du processus. L'équipement est équipé d'une fonction d'auto-fusion pour réduire la dépendance aux compétences de l'opérateur.
L'équipement est applicable à divers oxydes et matériaux de revêtement métallique et peut être revêtu de films optiques de précision multicouches, tels que le film AR, le passe-ondes longues, le passe-ondes courtes, le film éclaircissant, le film AS / AF, l'IRCUT, le système de film couleur, le système de film dégradé, etc. Il a été largement utilisé dans les lunettes AR, les lentilles optiques, les appareils photo, les lentilles optiques, les filtres, les industries des semi-conducteurs, etc.