1. Kaarivalon elektronivirtauksen ominaisuudet
Kaaripurkauksen synnyttämässä valokaariplasmassa elektronivirtauksen, ionivirtauksen ja korkeaenergisten neutraalien atomien tiheys on paljon suurempi kuin hohtopurkauksessa. Pinnoitustilassa on enemmän ionisoituneita kaasu-ioneja ja metalli-ioneja, virittyneitä korkeaenergisiä atomeja ja erilaisia aktiivisia ryhmiä, joilla on tärkeä rooli pinnoitusprosessin lämmitys-, puhdistus- ja pinnoitusvaiheissa. Kaarielektronivirtauksen toimintamuoto eroaa ionisuihkun toimintamuodosta, eivätkä kaikki elektronit konvergoi "suihkuksi", vaan enimmäkseen hajaantuvassa tilassa, joten sitä kutsutaan valokaarielektronivirtaukseksi. Koska valokaarielektronit virtaavat kohti anodia, valokaarielektronivirtaus suuntautuu kaikkialle, mihin valokaaren virtalähteen positiivinen elektrodi on kytketty, ja anodi voi olla työkappale, apuanodi, upokas jne.
2. Kaarielektronivirtauksen generointimenetelmä
(1) Kaasulähde tuottaa kaarielektronivirtauksen: onttokatodin kaaripurkauksen ja kuumalankapurkauksen kaarivirta voi olla noin 200 A ja kaarijännite on 50–70 V.
(2) Kiinteä lähde tuottaa valokaarielektronivirtauksen: katodivalokaarilähde, mukaan lukien pieni valokaarilähde, sylinterimäinen valokaarilähde, suorakulmainen tasoinen suuri valokaarilähde jne. Kunkin katodivalokaarilähteen purkausvirta on 80–200 A ja valokaarijännite 18–25 V.
Kahden tyyppisten valokaaripurkausplasmojen tiheä ja matalaenerginen elektronivirtaus voi tuottaa voimakkaan törmäysionisaation kaasu- ja metallikalvoatomien kanssa, jolloin saadaan enemmän kaasuioneja, metalli-ioneja ja erilaisia korkeaenergisiä aktiivisia atomeja ja ryhmiä, mikä parantaa kalvokerroksen ionien kokonaisaktiivisuutta.
–Tämän artikkelin julkaisi Guangdong Zhenhua,tyhjiöpinnoituskoneiden valmistaja
Julkaisun aika: 31.5.2023