Laite käyttää elektronisuihkuhöyrystystekniikkaa. Katodilangasta lähtevät elektronit fokusoituvat tiettyyn suihkuvirtaan, jota katodin ja sulatussuodattimen välinen potentiaali kiihdyttää, jolloin pinnoitemateriaali sulaa ja höyrystyy. Sillä on korkea energiatiheys ja se voi höyrystää pinnoitemateriaalia, jonka sulamispiste on yli 3000 ℃. Kalvolla on korkea puhtaus ja korkea lämpötehokkuus.
Laite on varustettu elektronisuihkuhöyrystyslähteellä, ionilähteellä, kalvonpaksuuden valvontajärjestelmällä, kalvonpaksuuden korjausrakenteella ja vakaalla sateenvarjomaisella työkappaleen kiertojärjestelmällä. Ionilähteellä avustetun pinnoitteen avulla kalvon tiiviys lisääntyy, taitekerroin vakautuu ja kosteuden aiheuttama aallonpituuden muutos vältetään. Täysautomaattinen kalvonpaksuuden reaaliaikainen valvontajärjestelmä varmistaa prosessin toistettavuuden ja vakauden. Se on varustettu itsesulamistoiminnolla, joka vähentää riippuvuutta käyttäjän taidoista.
Laitetta voidaan käyttää erilaisiin oksideihin ja metallipinnoitteisiin, ja se voidaan päällystää monikerroksisilla tarkkuusoptisilla kalvoilla, kuten AR-kalvolla, pitkäaaltoisella läpäisyllä, lyhytaaltoisella läpäisyllä, kirkastavalla kalvolla, AS/AF-kalvolla, IRCUT:lla, värikalvojärjestelmällä, gradienttikalvojärjestelmällä jne. Sitä on käytetty laajalti AR-laseissa, optisissa linsseissä, kameroissa, optisissa linsseissä, suodattimissa, puolijohdeteollisuudessa jne.