این تجهیزات از فناوری تبخیر پرتو الکترونی استفاده میکنند. الکترونها از رشته کاتد ساطع شده و به یک جریان پرتو خاص متمرکز میشوند که توسط پتانسیل بین کاتد و بوته برای ذوب و تبخیر ماده پوشش شتاب میگیرد. این دستگاه دارای چگالی انرژی بالا است و میتواند ماده پوشش را با نقطه ذوب بیش از 3000 درجه سانتیگراد تبخیر کند. این فیلم دارای خلوص بالا و راندمان حرارتی بالایی است.
این تجهیزات مجهز به منبع تبخیر پرتو الکترونی، منبع یون، سیستم نظارت بر ضخامت فیلم، ساختار اصلاح ضخامت فیلم و سیستم چرخش پایدار قطعه کار با چتر است. از طریق پوششدهی با کمک منبع یون، فشردگی فیلم افزایش مییابد، ضریب شکست تثبیت میشود و از پدیده تغییر طول موج ناشی از رطوبت جلوگیری میشود. سیستم نظارت تمام اتوماتیک بر ضخامت فیلم در زمان واقعی میتواند تکرارپذیری و پایداری فرآیند را تضمین کند. این دستگاه به عملکرد خود ذوب مجهز شده است تا وابستگی به مهارت اپراتور را کاهش دهد.
این تجهیزات برای اکسیدهای مختلف و مواد پوشش فلزی قابل استفاده است و میتواند با فیلمهای نوری دقیق چند لایه مانند فیلم AR، عبور موج بلند، عبور موج کوتاه، فیلم روشنکننده، فیلم AS/AF، IRCUT، سیستم فیلم رنگی، سیستم فیلم گرادیان و غیره پوشش داده شود. این دستگاه به طور گسترده در عینکهای AR، لنزهای اپتیکی، دوربینها، لنزهای اپتیکی، فیلترها، صنایع نیمههادی و غیره مورد استفاده قرار گرفته است.