1. Arku-argiaren elektroi-fluxuaren ezaugarriak
Arku-deskargak sortutako arku-plasman elektroi-fluxuaren, ioi-fluxuaren eta energia handiko atomo neutroen dentsitatea askoz handiagoa da dirdira-deskargarena baino. Gas-ioi eta metal-ioi ionizatu, energia handiko atomo kitzikatu eta hainbat talde aktibo daude estaldura-espazioan, eta horiek zeregin garrantzitsua dute estaldura-prozesuko berotze-, garbiketa- eta estaldura-etapetan. Arku-elektroi-fluxuaren ekintza-forma desberdina da ioi-sortarenarekin alderatuta, ez baitira guztiak "sorta" batean konbergitzen, baizik eta gehienbat egoera dibergentean, beraz, arku-elektroi-fluxua deitzen zaio. Arku-elektroiak anodorantz isurtzen direnez, arku-elektroi-fluxua arku-energia-iturriaren elektrodo positiboa konektatuta dagoen lekura zuzentzen da, eta anodoa pieza bat, anodo laguntzailea, gurutzadura, etab. izan daiteke.
2. Arku elektroi-fluxua sortzeko metodoa
(1) Gas iturriak arku elektroi fluxua sortzen du: katodo hutsaren arku deskargaren eta hari beroaren arku deskargaren arku korrontea 200A ingurura irits daiteke, eta arku tentsioa 50-70V da.
(2) Iturri solidoak arku-elektroi-fluxua sortzen du: katodo-arku-iturria, arku-iturri txikia, arku-iturri zilindrikoa, plano angeluzuzeneko arku-iturri handia, etab. barne. Katodo-arku-iturri bakoitzaren deskarga-arku-korrontea 80-200A da, eta arku-tentsioa 18-25V.
Bi arku-deskargako plasma motetan dentsitate handiko eta energia baxuko arku-elektroi-fluxuak gas eta metalezko film-atomoekin talka-ionizazio bizia sor dezake, gas-ioi gehiago, metal-ioi gehiago eta energia handiko hainbat atomo eta talde aktibo lortuz, eta horrela film-geruzako ioien jarduera orokorra hobetuz.
–Artikulu hau Guangdong Zhenhua-k argitaratu du,hutsean estaltzeko makina fabrikatzailea
Argitaratze data: 2023ko maiatzaren 31a