Lurrun-deposizio kimikoa (CVD) filmak sortzeko teknologia bat da, beroketa, plasma hobekuntza, fotolaguntza eta beste bitarteko batzuk erabiltzen dituena substantzia gaseosoek substratuaren gainazalean film solidoak sortzeko, presio normal edo baxuan erreakzio kimiko baten bidez.
Oro har, erreaktiboa gasa den eta produktuetako bat solidoa den erreakzioari CVD erreakzioa deritzo. CVD erreakzioaren bidez prestatzen diren estaldura mota asko daude, batez ere erdieroaleen prozesuan. Adibidez, erdieroaleen arloan, lehengaien fintzea, kalitate handiko erdieroale kristal bakarreko filmen prestaketa eta polikristalino eta amorfo filmen hazkuntza, gailu elektronikoetatik zirkuitu integratuetaraino, guztiak CVD teknologiarekin lotuta daude. Gainera, materialen gainazaleko tratamendua jendeak nahiago du. Adibidez, hainbat material, hala nola makineria, erreaktorea, aeroespaziala, medikuntza eta ekipamendu kimikoa, erabil daitezke korrosioarekiko erresistentzia, beroarekiko erresistentzia, higadura-erresistentzia eta gainazalaren indartzea duten estaldura funtzionalak prestatzeko CVD filmak eratzeko metodoaren bidez, haien eskakizun desberdinen arabera.
—— Artikulu hau Guangdong Zhenhua fabrikatzaileak argitaratu duhutsean estaltzeko ekipoak
Argitaratze data: 2023ko martxoaren 4a