1. Características del flujo de electrones de la luz de arco
La densidad del flujo de electrones, el flujo de iones y los átomos neutros de alta energía en el plasma de arco generado por descarga de arco es mucho mayor que la de la descarga luminiscente. En el espacio de recubrimiento hay más iones de gas y de metal ionizados, átomos de alta energía excitados y diversos grupos activos, que desempeñan un papel importante en las etapas de calentamiento, limpieza y recubrimiento del proceso. La forma de acción del flujo de electrones de arco es diferente a la del haz de iones: no todos convergen en un haz, sino que la mayoría se encuentran en un estado divergente, por lo que se denomina flujo de electrones de arco. Dado que los electrones de arco fluyen hacia el ánodo, el flujo de electrones de arco se dirige hacia donde se conecta el electrodo positivo de la fuente de alimentación de arco. El ánodo puede ser una pieza de trabajo, un ánodo auxiliar, un crisol, etc.
2. Método de generación de flujo de electrones de arco
(1) La fuente de gas genera un flujo de electrones de arco: la corriente de arco de la descarga de arco de cátodo hueco y la descarga de arco de alambre caliente pueden alcanzar aproximadamente 200 A y el voltaje del arco es de 50 a 70 V.
(2) La fuente sólida genera un flujo de electrones de arco: fuente de arco catódico, que incluye fuente de arco pequeño, fuente de arco cilíndrico, fuente de arco grande de plano rectangular, etc. La corriente de arco de cada descarga de fuente de arco catódico es de 80-200 A y el voltaje de arco es de 18-25 V.
El flujo de electrones de arco de alta densidad y baja energía en dos tipos de plasmas de descarga de arco puede generar una ionización de colisión intensa con átomos de película de gas y metal, obteniendo más iones de gas, iones de metal y varios átomos y grupos activos de alta energía, mejorando así la actividad general de los iones de la capa de película.
–Este artículo fue publicado por Guangdong Zhenhua, unafabricante de máquinas de recubrimiento al vacío
Fecha de publicación: 31 de mayo de 2023