El equipo utiliza la tecnología de evaporación por haz de electrones. Los electrones se emiten desde el filamento del cátodo y se enfocan en una corriente de haz específica, que se acelera por el potencial entre el cátodo y el crisol para fundir y evaporar el material de recubrimiento. Presenta una alta densidad energética y puede evaporar el material de recubrimiento con un punto de fusión superior a 3000 °C. La película presenta alta pureza y alta eficiencia térmica.
El equipo está equipado con una fuente de evaporación por haz de electrones, una fuente de iones, un sistema de monitoreo de espesor de película, una estructura de corrección de espesor de película y un sistema de rotación estable de la pieza tipo paraguas. Mediante el recubrimiento asistido por fuente de iones, se aumenta la compacidad de la película, se estabiliza el índice de refracción y se evita el fenómeno de desplazamiento de la longitud de onda debido a la humedad. El sistema de monitoreo automático de espesor de película en tiempo real garantiza la repetibilidad y la estabilidad del proceso. Cuenta con una función de autofusión para reducir la dependencia de la habilidad del operador.
El equipo es aplicable a varios óxidos y materiales de recubrimiento de metales, y se puede recubrir con películas ópticas de precisión multicapa, como película AR, paso de onda larga, paso de onda corta, película abrillantadora, película AS / AF, IRCUT, sistema de película de color, sistema de película de gradiente, etc. Ha sido ampliamente utilizado en gafas AR, lentes ópticas, cámaras, lentes ópticas, filtros, industrias de semiconductores, etc.