1. Χαρακτηριστικά της ροής ηλεκτρονίων τόξου φωτός
Η πυκνότητα της ροής ηλεκτρονίων, της ροής ιόντων και των ουδέτερων ατόμων υψηλής ενέργειας στο πλάσμα τόξου που παράγεται από την εκκένωση τόξου είναι πολύ υψηλότερη από αυτή της εκκένωσης λάμψης. Υπάρχουν περισσότερα ιόντα αερίου και μεταλλικών ιόντων, ιονισμένα, διεγερμένα άτομα υψηλής ενέργειας και διάφορες ενεργές ομάδες στον χώρο επίστρωσης, τα οποία παίζουν σημαντικό ρόλο στα στάδια θέρμανσης, καθαρισμού και επίστρωσης της διαδικασίας επίστρωσης. Η μορφή δράσης της ροής ηλεκτρονίων τόξου είναι διαφορετική από αυτή της δέσμης ιόντων, καθώς δεν συγκλίνουν όλα σε μια «δέσμη», αλλά κυρίως σε μια αποκλίνουσα κατάσταση, επομένως ονομάζεται ροή ηλεκτρονίων τόξου. Επειδή τα ηλεκτρόνια τόξου ρέουν προς την άνοδο, η ροή ηλεκτρονίων τόξου κατευθύνεται όπου είναι συνδεδεμένο το θετικό ηλεκτρόδιο της τροφοδοσίας τόξου και η άνοδος μπορεί να είναι ένα τεμάχιο εργασίας, μια βοηθητική άνοδος, ένα χωνευτήριο κ.λπ.
2. Μέθοδος δημιουργίας ροής ηλεκτρονίων τόξου
(1) Η πηγή αερίου παράγει ροή ηλεκτρονίων τόξου: το ρεύμα τόξου της εκκένωσης τόξου κοίλης καθόδου και της εκκένωσης τόξου θερμού σύρματος μπορεί να φτάσει περίπου τα 200A και η τάση τόξου είναι 50-70V.
(2) Η στερεά πηγή παράγει ροή ηλεκτρονίων τόξου: πηγή τόξου καθόδου, συμπεριλαμβανομένης πηγής μικρού τόξου, κυλινδρικής πηγής τόξου, πηγής μεγάλου τόξου ορθογώνιου επιπέδου, κ.λπ. Το ρεύμα τόξου κάθε εκκένωσης πηγής τόξου καθόδου είναι 80-200A και η τάση τόξου είναι 18-25V.
Η ροή ηλεκτρονίων τόξου υψηλής πυκνότητας και χαμηλής ενέργειας σε δύο τύπους πλάσματος εκκένωσης τόξου μπορεί να δημιουργήσει έντονο ιονισμό σύγκρουσης με άτομα αερίου και μεταλλικής μεμβράνης, λαμβάνοντας περισσότερα ιόντα αερίου, μεταλλικά ιόντα και διάφορα ενεργά άτομα και ομάδες υψηλής ενέργειας, βελτιώνοντας έτσι τη συνολική δραστικότητα των ιόντων της στρώσης μεμβράνης.
–Αυτό το άρθρο δημοσιεύτηκε από την Guangdong Zhenhua, μιακατασκευαστής μηχανών επικάλυψης κενού
Ώρα δημοσίευσης: 31 Μαΐου 2023