1. Karakteristika for elektronstrømning i lysbue
Densiteten af elektronstrøm, ionstrøm og højenergiske neutrale atomer i lysbueplasma genereret af lysbueudladning er meget højere end densiteten af glødeudladning. Der er flere ioniserede gasioner og metalioner, exciterede højenergiske atomer og forskellige aktive grupper i belægningsrummet, som spiller en vigtig rolle i opvarmnings-, rengørings- og belægningsfaserne i belægningsprocessen. Virkningsformen af lysbueelektronstrøm er forskellig fra ionstrålens, hvor ikke alle konvergerer til en "stråle", men for det meste i en divergerende tilstand, så det kaldes lysbueelektronstrøm. Fordi lysbueelektroner strømmer mod anoden, rettes lysbueelektronstrømmen derhen, hvor den positive elektrode på lysbuestrømforsyningen er tilsluttet, og anoden kan være et emne, en hjælpeanode, en digel osv.
2. Metode til generering af bueelektronstrøm
(1) Gaskilden genererer en elektronstrøm fra lysbuen: lysbuestrømmen fra udladning af hulkatode og udladning af varmtrådslysbuer kan nå op på omkring 200A, og lysbuespændingen er 50-70V.
(2) En fast kilde genererer en elektronstrøm fra en bue: katodebuekilde, inklusive en lille buekilde, en cylindrisk buekilde, en rektangulær stor buekilde osv. Buestrømmen for hver katodebuekildeudladning er 80-200A, og buespændingen er 18-25V.
Elektronstrømmen med høj densitet og lav energi i to typer bueudladningsplasmaer kan generere intens kollisionisering med gas- og metalfilmatomer, hvilket giver flere gasioner, metalioner og forskellige højenergiske aktive atomer og grupper, hvorved den samlede aktivitet af filmlagionerne forbedres.
–Denne artikel blev udgivet af Guangdong Zhenhua, enproducent af vakuumbelægningsmaskiner
Opslagstidspunkt: 31. maj 2023