Udstyret anvender elektronstrålefordampningsteknologi. Elektroner udsendes fra katodetråden og fokuseres i en bestemt strålestrøm, som accelereres af potentialet mellem katoden og diglen for at smelte og fordampe belægningsmaterialet. Det har egenskaber som høj energitæthed og kan fordampe belægningsmaterialet med et smeltepunkt på mere end 3000 ℃. Filmen har høj renhed og høj termisk effektivitet.
Udstyret er udstyret med en elektronstrålefordampningskilde, ionkilde, system til overvågning af filmtykkelse, filmtykkelseskorrektionsstruktur og et stabilt paraply-emnerotationssystem. Gennem ionkildeassisteret belægning øges filmens kompakthed, brydningsindekset stabiliseres, og fænomenet bølgelængdeforskydning på grund af fugt undgås. Det fuldautomatiske realtidsovervågningssystem til filmtykkelse kan sikre processens repeterbarhed og stabilitet. Det er udstyret med en selvsmeltende funktion for at reducere afhængigheden af operatørens færdigheder.
Udstyret kan anvendes til forskellige oxider og metalbelægningsmaterialer og kan belægges med flerlags præcisionsoptiske film, såsom AR-film, langbølget pas, kortbølget pas, lysnende film, AS/AF-film, IRCUT, farvefilmsystem, gradientfilmsystem osv. Det har været meget anvendt i AR-briller, optiske linser, kameraer, optiske linser, filtre, halvlederindustrier osv.