Nodweddion cotio chwistrellu magnetron
(3) Ysbeiddio ynni isel. Oherwydd y foltedd catod isel a roddir ar y targed, mae'r plasma wedi'i rwymo gan y maes magnetig yn y gofod ger y catod, gan atal y gronynnau gwefredig ynni uchel i ochr y swbstrad y mae pobl yn eu saethu. Felly, mae graddfa'r difrod i'r swbstrad fel dyfeisiau lled-ddargludyddion a achosir gan fomio gronynnau gwefredig yn is na'r hyn a achosir gan ddulliau ysbeiddio eraill.
(4) Tymheredd swbstrad isel. Mae cyfradd chwistrellu chwistrellu magnetron yn uchel, oherwydd bod crynodiad uchel o electronau yn y targed catod yn y maes magnetig o fewn y rhanbarth, hynny yw, mae crynodiad uchel o electronau yn y rhedfa rhyddhau targed o fewn ardal fach leoledig. Tra yn yr effaith magnetig y tu allan i'r rhanbarth, yn enwedig i ffwrdd o faes magnetig wyneb y swbstrad gerllaw, mae crynodiad yr electronau oherwydd gwasgariad yn llawer is, a gall hyd yn oed fod yn is na chwistrellu deuol (oherwydd y gwahaniaeth maint rhwng y ddau bwysau nwy gweithio). Felly, o dan amodau chwistrellu magnetron, mae crynodiad yr electronau sy'n peledu wyneb y swbstrad yn llawer is nag mewn chwistrellu deuod cyffredin, ac mae cynnydd gormodol yn nhymheredd y swbstrad yn cael ei osgoi oherwydd y gostyngiad yn nifer yr electronau sy'n digwydd ar y swbstrad. Yn ogystal, yn y dull chwistrellu magnetron, gellir lleoli anod y ddyfais chwistrellu magnetron o amgylch cyffiniau'r catod, a gellir hefyd fod yn ddi-ddaear ac mewn potensial atal, fel na all yr electronau basio trwy'r deiliad swbstrad wedi'i ddaearu a llifo i ffwrdd trwy'r anod, a thrwy hynny leihau'r electronau egni uchel sy'n peledu'r swbstrad platiog, gan leihau'r cynnydd mewn gwres swbstrad a achosir gan yr electronau, a lleihau'r peledu electronau eilaidd o'r swbstrad yn fawr gan arwain at gynhyrchu gwres.
(5) Ysgythru anwastad y targed. Yn y targed chwistrellu magnetron traddodiadol, mae defnyddio maes magnetig anwastad, felly bydd y plasma yn cynhyrchu effaith cydgyfeirio leol, a fydd yn gwneud i'r targed ar safle lleol y gyfradd ysgythru chwistrellu fod yn wych, a'r canlyniad yw y bydd y targed yn cynhyrchu ysgythru anwastad sylweddol. Mae cyfradd defnyddio'r targed yn gyffredinol tua 30%. Er mwyn gwella cyfradd defnyddio deunydd y targed, gallwch gymryd amrywiaeth o fesurau gwella, megis gwella siâp a dosbarthiad maes magnetig y targed, fel bod y magnet yn symud yn fewnol yng nghatod y targed ac yn y blaen.
Anhawster wrth chwistrellu targedau deunydd magnetig. Os yw'r targed chwistrellu wedi'i wneud o ddeunydd â athreiddedd magnetig uchel, bydd y llinellau grym magnetig yn mynd yn uniongyrchol trwy du mewn y targed i ddigwydd ffenomen cylched fer magnetig, gan wneud rhyddhau magnetron yn anodd. Er mwyn cynhyrchu'r maes magnetig gofod, mae pobl wedi cynnal amrywiaeth o astudiaethau, er enghraifft, i ddirlawn y maes magnetig y tu mewn i'r deunydd targed, gan adael llawer o fylchau yn y targed i hyrwyddo cynhyrchu mwy o ollyngiadau o gynnydd tymheredd targed magnetig, neu i leihau athreiddedd magnetig y deunydd targed.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Rhag-01-2023