Charakteristiky magnetronového naprašování
(3) Nízkoenergetické naprašování. V důsledku nízkého napětí katody aplikovaného na terč je plazma vázána magnetickým polem v prostoru poblíž katody, čímž se inhibují vysokoenergetické nabité částice na straně substrátu, které byly postřeleny. Stupeň poškození substrátu, například polovodičových součástek, způsobený bombardováním nabitými částicemi, je proto nižší než u jiných metod naprašování.
(4) Nízká teplota substrátu. Rychlost magnetronového naprašování je vysoká, protože katodový terč je v oblasti magnetického pole, tj. terčový výboj v malé lokalizované oblasti, kde je koncentrace elektronů vysoká. Vně oblasti magnetického efektu, zejména v blízkosti povrchu substrátu, je koncentrace elektronů v důsledku disperze mnohem nižší a může být dokonce nižší než při dipólovém naprašování (kvůli rozdílu tlaku mezi oběma pracovními plyny o řádu). Proto je za podmínek magnetronového naprašování koncentrace elektronů bombardujících povrch substrátu mnohem nižší než při běžném diodovém naprašování a nedochází k nadměrnému zvýšení teploty substrátu díky snížení počtu elektronů dopadajících na substrát. Kromě toho může být u magnetronového naprašování anoda magnetronového naprašovacího zařízení umístěna v blízkosti katody a držák substrátu může být také neuzemněný a v suspenzním potenciálu, takže elektrony nemohou procházet uzemněným držákem substrátu a odtékat skrz anodu, čímž se snižuje bombardování pokoveného substrátu elektrony s vysokou energií, snižuje se nárůst tepla substrátu způsobený elektrony a výrazně se zmírňuje sekundární elektronové bombardování substrátu, které vede k vývoji tepla.
(5) Nerovnoměrné leptání terče. V tradičním magnetronovém naprašovacím terči se při použití nerovnoměrného magnetického pole vytváří lokální konvergenční efekt plazmy, což vede k vysoké rychlosti leptání na lokální poloze terče při naprašování, což má za následek výrazně nerovnoměrné leptání. Míra využití terče je obecně kolem 30 %. Pro zlepšení míry využití materiálu terče lze přijmout řadu zlepšovacích opatření, jako je zlepšení tvaru a rozložení magnetického pole terče, aby se magnet v katodě terče pohyboval uvnitř a tak dále.
Obtíže při naprašování magnetických materiálových terčů. Pokud je naprašovací terč vyroben z materiálu s vysokou magnetickou permeabilitou, magnetické siločáry procházejí přímo vnitřkem terče a dochází k magnetickému zkratu, což ztěžuje magnetronový výboj. Za účelem generování prostorového magnetického pole se provedla řada studií, například k nasycení magnetického pole uvnitř terčového materiálu, ponechání mnoha mezer v terči pro podporu generování většího úniku magnetického pole v důsledku zvýšení teploty terče nebo ke snížení magnetické permeability terčového materiálu.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 1. prosince 2023