1. Charakteristiky toku elektronů v obloukovém světle
Hustota toku elektronů, iontů a vysokoenergetických neutrálních atomů v obloukové plazmě generované obloukovým výbojem je mnohem vyšší než u doutnavého výboje. V prostoru povlaku je ionizováno více plynných iontů a kovových iontů, excitovaných vysokoenergetických atomů a různých aktivních skupin, které hrají důležitou roli ve fázích ohřevu, čištění a povlakování v procesu povlakování. Forma působení toku elektronů v oblouku se liší od formy iontového paprsku, ne všechny se sbíhají do „paprsku“, ale většinou v divergenci, proto se nazývá tok elektronů v oblouku. Protože elektrony oblouku proudí směrem k anodě, tok elektronů v oblouku je směrován všude, kde je připojena kladná elektroda zdroje napájení oblouku, a anodou může být obrobek, pomocná anoda, kelímek atd.
2. Metoda generování toku elektronů v oblouku
(1) Zdroj plynu generuje tok elektronů v oblouku: proud oblouku při výboji s dutou katodou a výboji s horkým drátem může dosáhnout přibližně 200 A a napětí oblouku je 50–70 V.
(2) Tok elektronů v oblouku generuje pevný zdroj: katodový obloukový zdroj, včetně malého obloukového zdroje, válcového obloukového zdroje, velkého obloukového zdroje s obdélníkovou rovinou atd. Obloukový proud každého výboje katodového obloukového zdroje je 80–200 A a napětí oblouku je 18–25 V.
Tok elektronů v oblouku s vysokou hustotou a nízkou energií ve dvou typech plazmatu obloukového výboje může generovat intenzivní srážkovou ionizaci s atomy plynu a kovového filmu, čímž se získá více iontů plynu, kovových iontů a různých vysoce energeticky aktivních atomů a skupin, čímž se zlepší celková aktivita iontů ve vrstvě filmu.
–Tento článek byl zveřejněn nakladatelstvím Guangdong Zhenhua,výrobce vakuových lakovacích strojů
Čas zveřejnění: 31. května 2023