Zařízení využívá technologii odpařování elektronovým paprskem. Elektrony jsou emitovány z katodového vlákna a fokusovány do určitého proudu paprsku, který je urychlen potenciálem mezi katodou a kelímkem, čímž se roztaví a odpaří povlakový materiál. Zařízení má vlastnosti vysoké hustoty energie a může odpařovat povlakový materiál s bodem tání vyšším než 3000 °C. Film má vysokou čistotu a vysokou tepelnou účinnost.
Zařízení je vybaveno zdrojem elektronového odpařování, iontovým zdrojem, systémem monitorování tloušťky filmu, strukturou pro korekci tloušťky filmu a stabilním systémem rotace obrobku typu deštník. Díky nanášení povlaku s pomocí iontového zdroje se zvyšuje kompaktnost filmu, stabilizuje index lomu a zabraňuje se jevu posunu vlnové délky v důsledku vlhkosti. Plně automatický systém monitorování tloušťky filmu v reálném čase zajišťuje opakovatelnost a stabilitu procesu. Je vybaven funkcí samotavení, která snižuje závislost na dovednostech obsluhy.
Zařízení je použitelné pro různé oxidy a kovové povlakové materiály a lze jej potáhnout vícevrstvými přesnými optickými filmy, jako je AR film, film s dlouhým průchodem, film s krátkým průchodem, zjasňující film, film AS/AF, IRCUT, systém barevných filmů, systém gradientních filmů atd. Široce se používá v AR brýlích, optických čočkách, fotoaparátech, optických čočkách, filtrech, polovodičovém průmyslu atd.