Karakteristike premaza nanesenog magnetronskim raspršivanjem
(3) Raspršivanje niske energije. Zbog niskog napona katode primijenjenog na metu, plazma je vezana magnetskim poljem u prostoru blizu katode, čime se inhibiraju visokoenergetske nabijene čestice sa strane supstrata koje su pogođene. Stoga je stepen oštećenja supstrata, kao što su poluprovodnički uređaji, uzrokovan bombardovanjem nabijenim česticama, manji od onog uzrokovanog drugim metodama raspršivanja.
(4) Niska temperatura supstrata. Brzina magnetronskog raspršivanja je visoka, jer se katoda meta nalazi u magnetskom polju unutar regije, odnosno na stazi za pražnjenje mete unutar malog lokaliziranog područja, gdje je koncentracija elektrona visoka, dok je izvan regije magnetskog efekta, posebno dalje od magnetskog polja obližnje površine supstrata, koncentracija elektrona zbog disperzije mnogo niža, a može biti čak i niža od dipolnog raspršivanja (zbog razlike u pritisku dva radna gasa od reda veličine). Stoga je, pod uslovima magnetronskog raspršivanja, koncentracija elektrona koji bombarduju površinu supstrata mnogo niža nego kod običnog diodnog raspršivanja, a izbjegava se prekomjerno povećanje temperature supstrata zbog smanjenja broja elektrona koji padaju na supstrat. Osim toga, kod metode magnetronskog raspršivanja, anoda uređaja za magnetronsko raspršivanje može biti smještena u blizini katode, a držač supstrata također može biti neuzemljen i u suspenzijskom potencijalu, tako da elektroni ne mogu proći kroz uzemljeni držač supstrata i otići kroz anodu, čime se smanjuje broj visokoenergetskih elektrona koji bombardiraju presvučeni supstrat, smanjuje se povećanje topline supstrata uzrokovano elektronima i znatno se smanjuje sekundarno bombardiranje supstrata elektronima što rezultira stvaranjem topline.
(5) Neravnomjerno nagrizanje mete. Kod tradicionalne mete za magnetronsko raspršivanje, korištenje neravnomjernog magnetskog polja stvara lokalni efekat konvergencije plazme, što dovodi do velike brzine raspršivanja mete na lokalnom položaju, što rezultira značajnim neravnomjernim nagrizanjem mete. Stopa iskorištenja mete je uglavnom oko 30%. Kako bi se poboljšala stopa iskorištenja materijala mete, mogu se poduzeti različite mjere poboljšanja, kao što je poboljšanje oblika i distribucije magnetskog polja mete, tako da se magnet u katodi mete kreće unutra i tako dalje.
Teškoće pri raspršivanju meta od magnetskog materijala. Ako je meta za raspršivanje napravljena od materijala s visokom magnetskom permeabilnošću, magnetske linije sile će prolaziti direktno kroz unutrašnjost mete, što će dovesti do fenomena magnetskog kratkog spoja, što će otežati magnetronsko pražnjenje. Kako bi se generiralo prostorno magnetsko polje, ljudi su proveli niz istraživanja, na primjer, kako bi zasitili magnetsko polje unutar materijala mete, ostavljajući mnogo praznina u meti kako bi se potaknulo stvaranje većeg curenja magnetske mete zbog povećanja temperature ili kako bi se smanjila magnetska permeabilnost materijala mete.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 01.12.2023.