Oprema koristi tehnologiju isparavanja elektronskim snopom. Elektroni se emituju iz katodnog filamenta i fokusiraju u određenu struju snopa, koja se ubrzava potencijalom između katode i lončića kako bi se materijal premaza otopio i ispario. Ima karakteristike visoke gustoće energije i može ispariti materijal premaza s tačkom topljenja većom od 3000 ℃. Film ima visoku čistoću i visoku termičku efikasnost.
Oprema je opremljena izvorom isparavanja elektronskim snopom, jonskim izvorom, sistemom za praćenje debljine filma, strukturom za korekciju debljine filma i stabilnim sistemom rotacije obratka "kišobran". Pomoću premazivanja uz pomoć jonskog izvora, povećava se kompaktnost filma, stabilizuje se indeks prelamanja i izbjegava se fenomen pomjeranja talasne dužine usled vlage. Potpuno automatski sistem za praćenje debljine filma u realnom vremenu može osigurati ponovljivost i stabilnost procesa. Opremljen je funkcijom samotopljenja kako bi se smanjila zavisnost od vještina operatera.
Oprema se može primijeniti na različite okside i metalne premazne materijale, te se može premazati višeslojnim preciznim optičkim filmovima, kao što su AR film, dugotalasni prolaz, kratkotalasni prolaz, film za posvjetljivanje, AS/AF film, IRCUT, sistem filmova u boji, sistem gradijentnih filmova itd. Široko se koristi u AR naočalama, optičkim sočivima, kamerama, optičkim sočivima, filterima, industriji poluprovodnika itd.