ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ প্রযুক্তির প্রবর্তন

2, বাষ্পীভবন উত্তাপ

(1) প্রতিরোধের তাপীকরণ বাষ্পীভবন
প্রতিরোধ তাপীকরণ বাষ্পীভবন হল সবচেয়ে সহজ এবং সর্বাধিক ব্যবহৃত তাপীকরণ পদ্ধতি, যা সাধারণত 1500 ডিগ্রি সেলসিয়াসের নিচে গলনাঙ্কযুক্ত আবরণ উপকরণের ক্ষেত্রে প্রযোজ্য, তার বা শীট আকারে উচ্চ গলনাঙ্কযুক্ত ধাতু (W, Mo, Ti, Ta, বোরন নাইট্রাইড, ইত্যাদি) সাধারণত বাষ্পীভবন উৎসের একটি উপযুক্ত আকারে তৈরি করা হয়, বাষ্পীভবন উপকরণ দিয়ে লোড করা হয়, বৈদ্যুতিক প্রবাহের জুল তাপের মাধ্যমে প্লেটিং উপাদানকে গলিয়ে, বাষ্পীভূত করে বা উত্তপ্ত করে, বাষ্পীভবন উৎসের আকারে প্রধানত মাল্টি-স্ট্র্যান্ড সর্পিল, U-আকৃতির, সাইন তরঙ্গ, পাতলা প্লেট, নৌকা, শঙ্কু ঝুড়ি ইত্যাদি অন্তর্ভুক্ত থাকে। একই সময়ে, পদ্ধতিতে বাষ্পীভবন উৎস উপাদানের উচ্চ গলনাঙ্ক, কম স্যাচুরেশন বাষ্প চাপ, স্থিতিশীল রাসায়নিক বৈশিষ্ট্য, উচ্চ তাপমাত্রায় আবরণ উপাদানের সাথে রাসায়নিক বিক্রিয়া না থাকা, ভাল তাপ প্রতিরোধ ক্ষমতা, শক্তির ঘনত্বে ছোট পরিবর্তন ইত্যাদি প্রয়োজন। এটি বাষ্পীভবন উৎসের মাধ্যমে উচ্চ প্রবাহ গ্রহণ করে যাতে এটি তাপিত হয় এবং সরাসরি গরম করে ফিল্ম উপাদানকে বাষ্পীভূত করে, অথবা ফিল্ম উপাদানটিকে গ্রাফাইট এবং নির্দিষ্ট উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধী ধাতব অক্সাইড (যেমন A202, B0) এবং পরোক্ষ গরম করার জন্য অন্যান্য উপকরণ দিয়ে তৈরি ক্রুসিবলে রাখে। বাষ্পীভূত হওয়া।
প্রতিরোধী তাপ বাষ্পীভবন আবরণের সীমাবদ্ধতা রয়েছে: অবাধ্য ধাতুর বাষ্পের চাপ কম থাকে, যা পাতলা ফিল্ম তৈরি করা কঠিন; কিছু উপাদান গরম করার তার দিয়ে সহজেই একটি সংকর ধাতু তৈরি করে; সংকর ধাতুর ফিল্মের একটি অভিন্ন রচনা পাওয়া সহজ নয়। প্রতিরোধী তাপ বাষ্পীভবন পদ্ধতির সহজ গঠন, কম দাম এবং সহজ পরিচালনার কারণে, এটি বাষ্পীভবন পদ্ধতির একটি খুব সাধারণ প্রয়োগ।

(২) ইলেকট্রন বিম গরম করার বাষ্পীভবন
ইলেকট্রন রশ্মি বাষ্পীভবন হল আবরণ উপাদানকে বাষ্পীভূত করার একটি পদ্ধতি যা উচ্চ-শক্তি ঘনত্বের ইলেকট্রন রশ্মি দিয়ে জল-ঠান্ডা তামার ক্রুসিবলে স্থাপন করে বোমাবর্ষণ করে। বাষ্পীভবন উৎসে একটি ইলেকট্রন নির্গমন উৎস, একটি ইলেকট্রন ত্বরণ শক্তি উৎস, একটি ক্রুসিবল (সাধারণত একটি তামার ক্রুসিবল), একটি চৌম্বক ক্ষেত্র কয়েল এবং একটি শীতল জল সেট ইত্যাদি থাকে। এই ডিভাইসে, উত্তপ্ত উপাদানটি একটি জল-ঠান্ডা ক্রুসিবলে স্থাপন করা হয় এবং ইলেকট্রন রশ্মি উপাদানের খুব সামান্য অংশের উপর বোমাবর্ষণ করে, যখন অবশিষ্ট উপাদানের বেশিরভাগই ক্রুসিবলের শীতল প্রভাবের অধীনে খুব কম তাপমাত্রায় থাকে, যা ক্রুসিবলের বোমাবর্ষণ করা অংশ হিসাবে বিবেচিত হতে পারে। সুতরাং, বাষ্পীভবনের জন্য ইলেকট্রন রশ্মি গরম করার পদ্ধতি আবরণ উপাদান এবং বাষ্পীভবন উৎস উপাদানের মধ্যে দূষণ এড়াতে পারে।
ইলেকট্রন রশ্মির বাষ্পীভবন উৎসের গঠন তিন প্রকারে বিভক্ত করা যেতে পারে: সোজা বন্দুক (বোলস বন্দুক), রিং বন্দুক (বৈদ্যুতিকভাবে বিচ্যুত) এবং ই-বন্দুক (চৌম্বকীয়ভাবে বিচ্যুত)। এক বা একাধিক ক্রুসিবল একটি বাষ্পীভবন সুবিধায় স্থাপন করা যেতে পারে, যা বাষ্পীভূত হতে পারে এবং একই সাথে বা পৃথকভাবে অনেকগুলি ভিন্ন পদার্থ জমা করতে পারে।

ইলেকট্রন রশ্মি বাষ্পীভবনের উৎসগুলির নিম্নলিখিত সুবিধা রয়েছে।
①ইলেকট্রন বিম বোমাবাজি বাষ্পীভবন উৎসের উচ্চ রশ্মির ঘনত্ব প্রতিরোধী উত্তাপের উৎসের তুলনায় অনেক বেশি শক্তি ঘনত্ব পেতে পারে, যা উচ্চ গলনাঙ্কের উপাদান যেমন W, Mo, Al2O3, ইত্যাদি বাষ্পীভূত করতে পারে।
②আবরণ উপাদানটি একটি জল-ঠান্ডা তামার ক্রুসিবলে স্থাপন করা হয়, যা বাষ্পীভবন উৎস উপাদানের বাষ্পীভবন এবং তাদের মধ্যে বিক্রিয়া এড়াতে পারে।
③আবরণ উপাদানের পৃষ্ঠে সরাসরি তাপ যোগ করা যেতে পারে, যা তাপীয় দক্ষতা বৃদ্ধি করে এবং তাপ পরিবাহিতা এবং তাপ বিকিরণের ক্ষতি কম করে।
ইলেকট্রন বিম হিটিং বাষ্পীভবন পদ্ধতির অসুবিধা হল ইলেকট্রন বন্দুক থেকে প্রাথমিক ইলেকট্রন এবং আবরণ উপাদানের পৃষ্ঠ থেকে গৌণ ইলেকট্রন বাষ্পীভূত পরমাণু এবং অবশিষ্ট গ্যাস অণুগুলিকে আয়নিত করবে, যা কখনও কখনও ফিল্মের গুণমানকে প্রভাবিত করবে।

(3) উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি আবেশন গরম বাষ্পীভবন
উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি ইন্ডাকশন হিটিং বাষ্পীভবন হল উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি স্পাইরাল কয়েলের কেন্দ্রে আবরণ উপাদান সহ ক্রুসিবল স্থাপন করা, যাতে আবরণ উপাদানটি উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক ফিল্ডের আবেশনের অধীনে শক্তিশালী এডি কারেন্ট এবং হিস্টেরেসিস প্রভাব তৈরি করে, যার ফলে ফিল্ম স্তরটি বাষ্পীভূত না হওয়া পর্যন্ত উত্তপ্ত হতে থাকে এবং বাষ্পীভূত হয়। বাষ্পীভবন উৎসে সাধারণত একটি জল-শীতল উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি কয়েল এবং একটি গ্রাফাইট বা সিরামিক (ম্যাগনেসিয়াম অক্সাইড, অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইড, বোরন অক্সাইড, ইত্যাদি) ক্রুসিবল থাকে। উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার সাপ্লাই দশ হাজার থেকে কয়েক লক্ষ হার্জ ফ্রিকোয়েন্সি ব্যবহার করে, ইনপুট পাওয়ার কয়েক থেকে কয়েকশ কিলোওয়াট, ঝিল্লি উপাদানের আয়তন যত কম হবে, আনয়ন ফ্রিকোয়েন্সি তত বেশি হবে। আনয়ন কয়েল ফ্রিকোয়েন্সি সাধারণত জল-শীতল তামার নল দিয়ে তৈরি।
উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি ইন্ডাকশন হিটিং বাষ্পীভবন পদ্ধতির অসুবিধা হল ইনপুট পাওয়ার সামঞ্জস্য করা সহজ নয়, এর নিম্নলিখিত সুবিধা রয়েছে।
①উচ্চ বাষ্পীভবনের হার
②বাষ্পীভবন উৎসের তাপমাত্রা অভিন্ন এবং স্থিতিশীল, তাই আবরণের ফোঁটা ছিটানোর ঘটনা তৈরি করা সহজ নয় এবং এটি জমা হওয়া ফিল্মে পিনহোলের ঘটনাও এড়াতে পারে।
③বাষ্পীভবনের উৎস একবার লোড করা হয়, এবং তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা তুলনামূলকভাবে সহজ এবং সহজ।