এই সরঞ্জামটি ইলেকট্রন রশ্মি বাষ্পীভবন প্রযুক্তি গ্রহণ করে। ক্যাথোড ফিলামেন্ট থেকে ইলেকট্রন নির্গত হয় এবং একটি নির্দিষ্ট রশ্মি প্রবাহে কেন্দ্রীভূত হয়, যা ক্যাথোড এবং ক্রুসিবলের মধ্যে বিভব দ্বারা ত্বরান্বিত হয় এবং আবরণ উপাদানকে গলে এবং বাষ্পীভূত করে। এর উচ্চ শক্তি ঘনত্বের বৈশিষ্ট্য রয়েছে এবং এটি 3000 ℃ এর বেশি গলনাঙ্ক সহ আবরণ উপাদানকে বাষ্পীভূত করতে পারে। ফিল্মটির উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং উচ্চ তাপ দক্ষতা রয়েছে।
এই সরঞ্জামগুলিতে ইলেকট্রন রশ্মি বাষ্পীভবন উৎস, আয়ন উৎস, ফিল্ম বেধ পর্যবেক্ষণ ব্যবস্থা, ফিল্ম বেধ সংশোধন কাঠামো এবং স্থিতিশীল ছাতা ওয়ার্কপিস ঘূর্ণন ব্যবস্থা রয়েছে। আয়ন উৎস সহায়ক আবরণের মাধ্যমে, ফিল্মের কম্প্যাক্টনেস বৃদ্ধি পায়, প্রতিসরাঙ্ক স্থিতিশীল হয় এবং আর্দ্রতার কারণে তরঙ্গদৈর্ঘ্য পরিবর্তনের ঘটনা এড়ানো যায়। পূর্ণ-স্বয়ংক্রিয় ফিল্ম বেধ রিয়েল-টাইম পর্যবেক্ষণ ব্যবস্থা প্রক্রিয়াটির পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা এবং স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে পারে। অপারেটরের দক্ষতার উপর নির্ভরতা কমাতে এটি স্ব-গলন ফাংশন দিয়ে সজ্জিত।
এই সরঞ্জামটি বিভিন্ন অক্সাইড এবং ধাতব আবরণ উপকরণের জন্য প্রযোজ্য, এবং বহু-স্তর নির্ভুল অপটিক্যাল ফিল্ম দিয়ে প্রলেপ দেওয়া যেতে পারে, যেমন AR ফিল্ম, লং ওয়েভ পাস, শর্ট ওয়েভ পাস, ব্রাইটনিং ফিল্ম, AS/AF ফিল্ম, IRCUT, রঙিন ফিল্ম সিস্টেম, গ্রেডিয়েন্ট ফিল্ম সিস্টেম ইত্যাদি। এটি AR চশমা, অপটিক্যাল লেন্স, ক্যামেরা, অপটিক্যাল লেন্স, ফিল্টার, সেমিকন্ডাক্টর শিল্প ইত্যাদিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়েছে।