1. Характеристики на електронния поток от дъгова светлина
Плътността на електронния поток, йонния поток и високоенергийните неутрални атоми в дъговата плазма, генерирана от дъгов разряд, е много по-висока от тази на тлеещия разряд. В пространството за покритие има повече йонизирани газови йони и метални йони, възбудени високоенергийни атоми и различни активни групи, които играят важна роля в етапите на нагряване, почистване и нанасяне на покритието. Формата на действие на електронния поток на дъгата е различна от тази на йонния лъч, като не всички от тях се сливат в „лъч“, а предимно в разминаващо се състояние, затова се нарича електронен поток на дъгата. Тъй като електроните на дъгата текат към анода, електронният поток на дъгата е насочен навсякъде, където е свързан положителният електрод на захранването на дъгата, а анодът може да бъде детайл, спомагателен анод, тигел и др.
2. Метод за генериране на дъгов електронен поток
(1) Източникът на газ генерира поток от електрони на дъгата: токът на дъгата при дъговия разряд с кух катод и дъговия разряд с гореща тел може да достигне около 200A, а напрежението на дъгата е 50-70V.
(2) Твърд източник генерира поток от електрони на дъгата: катоден дъгов източник, включително малък дъгов източник, цилиндричен дъгов източник, правоъгълен плосък голям дъгов източник и др. Дъговият ток на всеки разряд на катоден дъгов източник е 80-200A, а напрежението на дъгата е 18-25V.
Високоплътният и нискоенергиен поток от електрони в два вида плазми на дъгови разряди може да генерира интензивна сблъсъчна йонизация с газови и метални филмови атоми, получавайки повече газови йони, метални йони и различни високоенергийни активни атоми и групи, като по този начин подобрява общата активност на йоните във филмовия слой.
–Тази статия е публикувана от Guangdong Zhenhua,производител на машини за вакуумно покритие
Време на публикуване: 31 май 2023 г.