خصائص وطرق توليد تدفق الإلكترونات القوسية

1. خصائص تدفق الإلكترونات في ضوء القوس

كثافة تدفق الإلكترونات والأيونات والذرات المتعادلة عالية الطاقة في بلازما القوس الناتجة عن تفريغ القوس أعلى بكثير من كثافة تفريغ التوهج. يوجد في مساحة الطلاء عدد أكبر من أيونات الغاز وأيونات المعادن المتأينة، والذرات عالية الطاقة المثارة، بالإضافة إلى مجموعات نشطة متنوعة، والتي تلعب دورًا مهمًا في مراحل التسخين والتنظيف والطلاء. يختلف شكل عمل تدفق الإلكترونات القوسية عن شكل شعاع الأيونات، حيث لا تتقارب جميعها لتشكل "شعاعًا"، بل تكون في الغالب في حالة متباعدة، ولذلك يُطلق عليه اسم تدفق الإلكترونات القوسية. ولأن الإلكترونات القوسية تتدفق نحو الأنود، فإن تدفق الإلكترونات القوسية يتجه إلى أي مكان يتصل فيه القطب الموجب لمصدر طاقة القوس، ويمكن أن يكون الأنود قطعة عمل، أو أنودًا مساعدًا، أو بوتقة، إلخ.

2. طريقة توليد تدفق الإلكترونات القوسية

(1) مصدر الغاز يولد تدفق قوس إلكتروني: يمكن أن يصل تيار القوس لتفريغ قوس الكاثود المجوف وتفريغ قوس السلك الساخن إلى حوالي 200 أمبير، ويبلغ جهد القوس 50-70 فولت.

(2) مصدر صلب يولد تدفق إلكترون قوسي: مصدر قوس الكاثود، بما في ذلك مصدر القوس الصغير، ومصدر القوس الأسطواني، ومصدر القوس الكبير المستطيل، وما إلى ذلك. تيار القوس لكل تفريغ مصدر قوس الكاثود هو 80-200 أمبير، وجهد القوس هو 18-25 فولت.

يمكن لتدفق الإلكترونات القوسية عالية الكثافة ومنخفضة الطاقة في نوعين من بلازما التفريغ القوسي أن يولّد تأينًا تصادميًا مكثفًا مع ذرات الغاز والفيلم المعدني، مما يؤدي إلى الحصول على المزيد من أيونات الغاز وأيونات المعدن والذرات والمجموعات النشطة عالية الطاقة المختلفة، وبالتالي تحسين النشاط العام لأيونات طبقة الفيلم.

- تم نشر هذه المقالة بواسطة Guangdong Zhenhua، وهي شركةمُصنِّع آلات طلاء الفراغ