يعتمد الجهاز على تقنية تبخير شعاع الإلكترونات. تُطلق الإلكترونات من خيوط الكاثود وتُركز في تيار شعاعي مُحدد، والذي يُسرّعه الجهد بين الكاثود والبوتقة لصهر وتبخير مادة الطلاء. يتميز الجهاز بكثافة طاقة عالية، ويمكنه تبخير مادة الطلاء بدرجة انصهار تزيد عن 3000 درجة مئوية. يتميز الفيلم بنقاء عالٍ وكفاءة حرارية عالية.
الجهاز مُجهز بمصدر تبخير شعاع الإلكترون، ومصدر أيوني، ونظام مراقبة سماكة الغشاء، وهيكل تصحيح سماكة الغشاء، ونظام دوران مستقر لقطعة العمل. بفضل الطلاء المُساعد بمصدر أيوني، يزداد تماسك الغشاء، ويُثبّت معامل الانكسار، ويُجنّب ظاهرة انزياح الطول الموجي بسبب الرطوبة. يضمن نظام المراقبة الآنية لسماكة الغشاء الأوتوماتيكي بالكامل تكرار العملية واستقرارها. كما أنه مُجهز بوظيفة الذوبان الذاتي لتقليل الاعتماد على مهارات المُشغّل.
يمكن استخدام المعدات على أكاسيد مختلفة ومواد طلاء معدنية، ويمكن طلائها بأفلام بصرية دقيقة متعددة الطبقات، مثل فيلم AR، تمرير الموجة الطويلة، تمرير الموجة القصيرة، فيلم التفتيح، فيلم AS / AF، IRCUT، نظام الفيلم الملون، نظام الفيلم المتدرج، إلخ. وقد تم استخدامه على نطاق واسع في نظارات AR، والعدسات البصرية، والكاميرات، والعدسات البصرية، والمرشحات، وصناعات أشباه الموصلات، إلخ.