የቫኩም ትነት ሽፋን መርህ
1, የቫኩም ትነት ሽፋን መሳሪያዎች እና አካላዊ ሂደት
የቫኩም ትነት መሸፈኛ መሳሪያዎች በዋናነት ከቫኩም ክፍል እና የማስወገጃ ስርዓት የተዋቀሩ ናቸው. በቫኩም ክፍል ውስጥ የትነት ምንጭ (ማለትም የትነት ማሞቂያ) ፣ የከርሰ ምድር እና የፍሬም ፍሬም ፣ የሙቀት ማሞቂያ ፣ የጭስ ማውጫ ስርዓት ፣ ወዘተ.
የሽፋኑ ቁሳቁስ በቫኪዩም ክፍል ውስጥ በሚወጣው የትነት ምንጭ ውስጥ ይቀመጣል ፣ እና በከፍተኛ የቫኩም ሁኔታዎች ውስጥ ፣ ለመተንፈሻ ምንጭ ይሞቃል። አማካኝ የነጻው የእንፋሎት ሞለኪውሎች ከቫኩም ክፍል መስመራዊ መጠን ሲበልጥ የፊልም ትነት አተሞች እና ሞለኪውሎች ከትነት ምንጭ ላይ ካመለጡ በኋላ በሌሎች ሞለኪውሎች ወይም አተሞች ግጭት እምብዛም አይስተጓጎሉም እና በቀጥታ ወደ ንጣፍ ንጣፍ ሽፋን ላይ ይደርሳሉ። በዝቅተኛ የሙቀት መጠን ምክንያት, የፊልም ትነት ቅንጣቶች በላዩ ላይ ተጣብቀው ፊልም ይሠራሉ.
የትነት ሞለኪውሎች እና substrate ያለውን ታደራለች ለማሻሻል እንዲቻል, substrate በአግባቡ ማሞቂያ ወይም ion ጽዳት ሊነቃ ይችላል. የቫኩም ትነት ሽፋን ከቁስ መትነን, መጓጓዣ ወደ ፊልም ለማስገባት በሚከተሉት አካላዊ ሂደቶች ውስጥ ያልፋል.
(1) ሌሎች የኃይል ዓይነቶችን ወደ የሙቀት ኃይል ለመለወጥ የተለያዩ መንገዶችን በመጠቀም ፣ የፊልሙ ቁሳቁስ እንዲተነተን ወይም ወደ ጋዝ ቅንጣቶች (አተሞች ፣ ሞለኪውሎች ወይም አቶሚክ ክላስተር) በተወሰነ የኃይል መጠን (0.1 እስከ 0.3 eV) እንዲሞቅ ይደረጋል።
(2) የጋዝ ቅንጣቶች የፊልሙን ወለል ይተዋል እና በተወሰነ የእንቅስቃሴ ፍጥነት ፣ በመሠረቱ ያለ ግጭት ፣ በቀጥተኛ መስመር ወደ ወለሉ ወለል ይጓጓዛሉ።
(3) ወደ substrate ወለል ላይ የሚደርሱት የጋዝ ቅንጣቶች ይሰባሰባሉ እና ያስቆጣሉ እና ከዚያም ወደ ጠንካራ-ደረጃ ፊልም ያድጋሉ።
(4) ፊልሙን የሚሠሩትን አቶሞች እንደገና ማደራጀት ወይም ኬሚካላዊ ትስስር።
2, የትነት ማሞቂያ
(1) የመቋቋም ማሞቂያ ትነት
የመቋቋም ማሞቂያ ትነት በጣም ቀላል እና በብዛት ጥቅም ላይ የሚውለው የማሞቂያ ዘዴ ነው, በአጠቃላይ ከ 1500 ℃ በታች የሟሟት ነጥብ ያላቸው ቁሳቁሶችን ለመሸፈን ተፈጻሚ ይሆናል, ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ ብረቶች በሽቦ ወይም በቆርቆሮ ቅርጽ (ደብሊው, ሞ, ቲ, ታ, ቦሮን ናይትራይድ, ወዘተ.) አብዛኛውን ጊዜ ተስማሚ የሆነ የእንፋሎት ምንጭ ቅርጽ የተሰሩ ናቸው, በእንፋሎት እቃዎች የተጫኑ, በጆውሊየም ሙቀትን ለመትነን የአሁኑን የኤሌክትሪክ ኃይልን ይቀልጣሉ, የፕላስ ፕላስቲኩን የአሁኑን የኤሌትሪክ ሙቀትን ይቀልጣሉ. የትነት ምንጭ በዋናነት የብዝሃ-ክር ጠምዛዛ, ዩ-ቅርጽ, ሳይን ማዕበል, ቀጭን ሳህን, ጀልባ, ሾጣጣ ቅርጫት, ወዘተ ያካትታል. በተመሳሳይ ጊዜ, ዘዴ ትነት ምንጭ ቁሳዊ ከፍተኛ መቅለጥ ነጥብ, ዝቅተኛ ሙሌት የእንፋሎት ግፊት, የተረጋጋ ኬሚካላዊ ባህሪያት, ከፍተኛ ሙቀት ላይ ያለውን ሽፋን ቁሳዊ ጋር ኬሚካላዊ ምላሽ የላቸውም, ጥሩ ሙቀት የመቋቋም, ኃይል ጥግግት ላይ ትንሽ ለውጥ, እና ፊልም አማካኝነት ከፍተኛ ትነት ለማድረግ የአሁኑን ምንጭ ወደ ላይ እንዲወጣ ለማድረግ ዘዴ ይጠይቃል. በቀጥታ በማሞቅ ወይም የፊልም ቁሳቁሶችን ከግራፋይት እና የተወሰኑ ከፍተኛ ሙቀትን የሚከላከሉ የብረት ኦክሳይድ (እንደ A202, B0) እና በተዘዋዋሪ ለማሞቅ ሌሎች ቁሳቁሶች በተሰራው ክሬይ ውስጥ ያስቀምጡ.
የመቋቋም ማሞቂያ ትነት ሽፋን ውሱንነቶች አሉት: refractory ብረቶች ቀጭን ፊልም ለማድረግ አስቸጋሪ ነው ዝቅተኛ የእንፋሎት ግፊት አላቸው; አንዳንድ ንጥረ ነገሮች ከማሞቂያ ሽቦ ጋር ቅይጥ ለመፍጠር ቀላል ናቸው ፣ የአሎይ ፊልም አንድ ወጥ የሆነ ቅንብር ማግኘት ቀላል አይደለም. ምክንያቱም ቀላል መዋቅር, ዝቅተኛ ዋጋ እና የመቋቋም ማሞቂያ ትነት ዘዴ ቀላል ክወና, በጣም የተለመደ የትነት ዘዴ ነው.
(2) የኤሌክትሮን ጨረር ማሞቂያ ትነት
የኤሌክትሮን ጨረሮች ትነት የውሃ ማቀዝቀዣ የመዳብ ክሬዲት ውስጥ በማስቀመጥ ከፍተኛ ኃይል ባለው የኤሌክትሮን ጨረር በቦምብ በመወርወር የሽፋን ቁሳቁሶችን የማትነን ዘዴ ነው። የትነት ምንጭ የኤሌክትሮን ልቀት ምንጭ፣ የኤሌክትሮን ማጣደፍ የኃይል ምንጭ፣ ክሩሺብል (በተለምዶ የመዳብ ክሩብልብል)፣ መግነጢሳዊ መስክ ጥቅልል እና የማቀዝቀዣ ውሃ ስብስብ ወዘተ ያካትታል። ክሩክብል, እሱም እንደ ፈንጂው የቦምብ ክፍል ሊቆጠር ይችላል. ስለዚህ የኤሌክትሮን ጨረሮችን ለማትነን የማሞቅ ዘዴ በሸፈነው ቁሳቁስ እና በእንፋሎት ምንጭ መካከል ያለውን ብክለት ማስወገድ ይችላል.
የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ምንጭ አወቃቀር በሶስት ዓይነቶች ሊከፈል ይችላል-ቀጥታ ጠመንጃዎች (ቡልስ ጠመንጃዎች) ፣ የቀለበት ጠመንጃዎች (በኤሌክትሪክ የሚገለሉ) እና ኢ-ሽጉጥ (መግነጢሳዊ አቅጣጫዊ)። አንድ ወይም ከዚያ በላይ ክራንች በአንድ ጊዜ ወይም በተናጥል ብዙ የተለያዩ ንጥረ ነገሮችን ሊተን በሚችል በትነት ቦታ ውስጥ ሊቀመጡ ይችላሉ።
የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ምንጮች የሚከተሉት ጥቅሞች አሏቸው።
①የኤሌክትሮን ጨረር ቦምብ መትነን ምንጭ ከፍተኛ የጨረር ጥግግት እንደ ደብልዩ፣ ሞ፣ አል2O3፣ ወዘተ የመሳሰሉ ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ ቁሶችን ሊተን ከሚችለው የመቋቋም ማሞቂያ ምንጭ እጅግ የላቀ የኢነርጂ ጥንካሬን ማግኘት ይችላል።
②የመሸፈኛ ቁሳቁስ በውሃ የቀዘቀዘ የመዳብ ክሬዲት ውስጥ ተቀምጧል, ይህም የእንፋሎት ምንጭ ቁሳቁሶችን መትነን እና በመካከላቸው ያለውን ምላሽ ማስወገድ ይችላል.
③ ሙቀት በቀጥታ በሸፈነው ቁሳቁስ ወለል ላይ መጨመር ይቻላል, ይህም የሙቀት ቅልጥፍናን ከፍ ያደርገዋል እና የሙቀት ማስተላለፊያ እና የሙቀት ጨረር መጥፋት ዝቅተኛ ያደርገዋል.
የኤሌክትሮን ጨረር ማሞቂያ የትነት ዘዴ ጉዳቱ ከኤሌክትሮን ሽጉጥ ዋና ኤሌክትሮኖች እና ሁለተኛ ኤሌክትሮኖች ከሽፋኑ ቁሳቁስ ወለል ላይ የሚተኑ አተሞችን እና ቀሪ የጋዝ ሞለኪውሎችን ionize ያደርጋሉ ፣ ይህም አንዳንድ ጊዜ የፊልም ጥራት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል።
(3) ከፍተኛ ድግግሞሽ induction ማሞቂያ ትነት
ከፍተኛ-ድግግሞሽ induction ማሞቂያ ትነት ከፍተኛ ድግግሞሽ ጠመዝማዛ ጠምዛዛ መሃል ላይ ልባስ ቁሳዊ ጋር ክሩክ ማስቀመጥ ነው, ስለዚህ ልባስ ቁሳዊ ከፍተኛ-ድግግሞሽ የኤሌክትሮማግኔቲክ መስክ induction ስር ኃይለኛ Eddy የአሁኑ እና hysteresis ውጤት ያመነጫል, ይህም የፊልም ንብርብሩን እስኪተን እና እስኪተን ድረስ እንዲሞቅ ያደርገዋል. የትነት ምንጭ በአጠቃላይ በውሃ የቀዘቀዘ ከፍተኛ-ድግግሞሽ ኮይል እና ግራፋይት ወይም ሴራሚክ (ማግኒዥየም ኦክሳይድ፣ አልሙኒየም ኦክሳይድ፣ ቦሮን ኦክሳይድ ወዘተ) ክሩሺብልን ያካትታል። ከፍተኛ ድግግሞሽ የኃይል አቅርቦት ከአስር ሺህ እስከ ብዙ መቶ ሺህ Hz ድግግሞሽ ይጠቀማል, የግብአት ሃይል ከበርካታ እስከ ብዙ መቶ ኪሎዋትስ ነው, አነስተኛ መጠን ያለው የሜምቦል ቁስ አካል, የመግቢያ ድግግሞሽ ከፍ ያለ ነው. የኢንደክሽን ኮይል ድግግሞሽ አብዛኛውን ጊዜ በውሃ ከተቀዘቀዘ የመዳብ ቱቦ የተሰራ ነው.
የከፍተኛ-ድግግሞሽ ኢንዳክሽን ማሞቂያ ትነት ዘዴ ጉዳቱ የግቤት ኃይልን በጥሩ ሁኔታ ማስተካከል ቀላል አይደለም, የሚከተሉት ጥቅሞች አሉት.
① ከፍተኛ የትነት መጠን
② የእንፋሎት ምንጭ የሙቀት መጠኑ አንድ አይነት እና የተረጋጋ ነው, ስለዚህ የመሸፈኛ ጠብታዎች ነጠብጣብ ክስተትን ለማምረት ቀላል አይደለም, እና በተቀማጭ ፊልም ላይ የፒንሆልስ ክስተትን ማስወገድ ይችላል.
③ የእንፋሎት ምንጭ አንድ ጊዜ ተጭኗል፣ እና የሙቀት መጠኑ በአንጻራዊነት ቀላል እና ለመቆጣጠር ቀላል ነው።
የልጥፍ ሰዓት፡- ኦክቶበር 28-2022