1. Eienskappe van booglig-elektronvloei
Die digtheid van elektronvloei, ioonvloei en hoë-energie neutrale atome in boogplasma wat deur boogontlading gegenereer word, is baie hoër as dié van gloei-ontlading. Daar is meer gasione en metaalione geïoniseerde, opgewekte hoë-energie atome en verskeie aktiewe groepe in die bedekkingsruimte, wat 'n belangrike rol speel in die verhittings-, skoonmaak- en bedekkingsfases van die bedekkingsproses. Die aksievorm van boogelektronvloei verskil van dié van ioonstraal, wat nie almal in 'n "straal" konvergeer nie, maar meestal in 'n divergente toestand, daarom word dit boogelektronvloei genoem. Omdat boogelektrone na die anode vloei, word die boogelektronvloei gerig waarheen die positiewe elektrode van die boogkragbron gekoppel is, en die anode kan 'n werkstuk, hulpanode, kroesie, ens. wees.
2. Metode om boogelektronvloei te genereer
(1) Die gasbron genereer boogelektronvloei: die boogstroom van hol katodeboogontlading en warmdraadboogontlading kan ongeveer 200A bereik, en die boogspanning is 50-70V.
(2) Vaste bron genereer boogelektronvloei: katodeboogbron, insluitend klein boogbron, silindriese boogbron, reghoekige vlak groot boogbron, ens. Die boogstroom van elke katodeboogbronontlading is 80-200A, en die boogspanning is 18-25V.
Die hoëdigtheid- en lae-energie-boogelektronvloei in twee tipes boogontladingsplasmas kan intense botsingsionisasie met gas- en metaalfilmatome genereer, wat meer gasione, metaalione en verskeie hoë-energie aktiewe atome en groepe verkry, en sodoende die algehele aktiwiteit van die filmlaagione verbeter.
–Hierdie artikel is vrygestel deur Guangdong Zhenhua, 'nvervaardiger van vakuumbedekkingsmasjiene
Plasingstyd: 31 Mei 2023