Pẹlu idagbasoke ti o pọ si ti imọ-ẹrọ ti a bo sputtering, paapaa imọ-ẹrọ ti a bo sputtering sputtering, ni lọwọlọwọ, fun eyikeyi ohun elo le ṣee pese nipasẹ fiimu ibi-afẹde ion bombardment, nitori pe ibi-afẹde naa ti tuka ninu ilana ti a bo si iru sobusitireti, didara fiimu sputtered ni ipa pataki, nitorinaa, awọn ibeere ohun elo ibi-afẹde tun jẹ okun sii. Ni yiyan awọn ohun elo ibi-afẹde, ni afikun si lilo fiimu funrararẹ yẹ ki o yan, o yẹ ki o tun gbero awọn ọran wọnyi:
1. Awọn ohun elo ti o wa ni afojusun yẹ ki o ni agbara ẹrọ ti o dara ati iṣeduro kemikali lẹhin iṣeto ti fiimu naa
2. Àkọlé ati sobusitireti apapo gbọdọ jẹ lagbara, bibẹkọ ti o yẹ ki o wa ni ya pẹlu awọn sobusitireti ni o ni kan ti o dara apapo ti awo awo, akọkọ sputtering a mimọ fiimu ati ki o si awọn igbaradi ti awọn ti a beere Layer Layer.
3 bi a lenu sputtering awo ohun elo gbọdọ jẹ rọrun lati fesi pẹlu awọn gaasi lati se ina agbo agbo; 4.
4. Labẹ ipilẹ ti ipade awọn ibeere ti iṣẹ iṣelọpọ awọ ara, iyatọ laarin olùsọdipúpọ ti imugboroosi igbona ti ohun elo ibi-afẹde ati sobusitireti jẹ kekere bi o ti ṣee, ki o le dinku ipa ti aapọn gbona lori awọ-ara sputtered.
Ipa ti aapọn gbona ti fiimu sputtering; 5.
5. Gẹgẹbi lilo ati awọn ibeere iṣẹ ti awo ilu, ohun elo ibi-afẹde gbọdọ pade mimọ, akoonu aimọ, isokan paati, iṣedede ẹrọ ati awọn ibeere imọ-ẹrọ miiran.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-21-2023