Aso igbale ti n tu omi jẹ ẹrọ ti a lo lati fi awọn fiimu tinrin ti ohun elo sori sobusitireti kan. Ilana yii jẹ lilo nigbagbogbo ni iṣelọpọ ti awọn semikondokito, awọn sẹẹli oorun, ati awọn oriṣi awọn aṣọ ibora fun awọn ohun elo opitika ati itanna. Eyi ni awotẹlẹ ipilẹ ti bii o ṣe n ṣiṣẹ:
1.Vacuum Chamber: Ilana naa waye ni inu iyẹwu igbale lati dinku ibajẹ ati ki o jẹ ki iṣakoso to dara julọ lori ilana igbasilẹ.
2.Target Material: Awọn ohun elo ti a fi silẹ ni a mọ ni ibi-afẹde. Eyi ni a gbe sinu iyẹwu igbale.
3.Substrate: Awọn sobusitireti jẹ ohun elo lori eyi ti fiimu tinrin yoo wa ni ipamọ. O tun gbe inu iyẹwu igbale.
4.Plasma Generation: Gas inert, deede argon, ti wa ni a ṣe sinu iyẹwu naa. A lo foliteji giga si ibi-afẹde, ṣiṣẹda pilasima (ipo ọrọ ti o ni awọn elekitironi ọfẹ ati awọn ions).
5.Sputtering: Ions lati pilasima collide pẹlu awọn ohun elo ti afojusun, kọlu awọn ọta tabi moleku kuro ni ibi-afẹde. Awọn patikulu wọnyi lẹhinna rin irin-ajo nipasẹ igbale ati fi silẹ sori sobusitireti, ti o ṣe fiimu tinrin.
6.Control: Awọn sisanra ati akopọ ti fiimu naa le ni iṣakoso ni deede nipasẹ awọn atunṣe atunṣe gẹgẹbi agbara ti a lo si ibi-afẹde, titẹ ti gaasi inert, ati iye akoko ilana itọpa.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Keje-12-2024