Itọsọna ti idagbasoke imọ-ẹrọ ohun alumọni ohun alumọni tun pẹlu imọ-ẹrọ PERT ati imọ-ẹrọ Topcon, awọn imọ-ẹrọ meji wọnyi ni a gba bi ifaagun ti ọna itanka kaakiri ibile ti imọ-ẹrọ sẹẹli, awọn abuda ti o wọpọ wọn jẹ Layer passivation lori ẹhin sẹẹli naa, ati awọn mejeeji lo Layer ti ohun alumọni poly doped bi aaye ẹhin, ile-iwe naa ni lilo pupọ julọ ni iwọn otutu oxidized ti o ga, ati doped polyec Layer oxidized Layer, ati be be lo silikoni polyEC Layer PVD. PECVD ati Tubular PECVD ati PECVD awo alapin ni a ti lo ni iṣelọpọ titobi nla ti awọn sẹẹli PERC.
Tubular PECVD ni agbara nla ati ni gbogbogbo gba ipese agbara igbohunsafẹfẹ-kekere ti ọpọlọpọ awọn mewa ti kHz. Ion bombardment ati fori plating isoro le ni ipa awọn didara ti awọn passivation Layer. Alapin awo PECVD ko ni ni awọn isoro ti fori plating, ati ki o ni kan ti o tobi anfani ni ti a bo išẹ, ati ki o le ṣee lo fun awọn iwadi oro ti doped Si, Si0X, SiCX fiimu. Alailanfani ni pe fiimu ti a fi silẹ ni ọpọlọpọ hydrogen, rọrun lati fa roro ti Layer fiimu, ni opin ni sisanra ti ibora. Imọ-ẹrọ ti a bo lpcvd nipa lilo ideri ileru tube, pẹlu agbara nla, o le fi fiimu polysilicon ti o nipọn sii, ṣugbọn yoo wa ni ayika fifin naa waye, ninu ilana lpcvd lẹhin yiyọkuro ni ayika fifin ti Layer fiimu ati pe ko ṣe ipalara Layer isalẹ. Awọn sẹẹli Topcon ti a ṣejade lọpọlọpọ ti ṣaṣeyọri iṣẹ ṣiṣe iyipada aropin ti 23%.
——Àpilẹ̀kọ yìí ni a gbé jáde láti ọwọ́igbale ti a bo ẹrọGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹsan-22-2023