א ספּאַטערינג וואַקוום קאָוטער איז אַ מיטל געניצט צו אַוועקלייגן דין פילמען פון מאַטעריאַל אויף אַ סאַבסטראַט. דעם פּראָצעס איז אָפט געניצט אין דער פּראָדוקציע פון האַלב-קאָנדוקטאָרן, זונ - סעלז, און פֿאַרשידענע טייפּס פון קאָוטינגז פֿאַר אָפּטישע און עלעקטראָנישע אַפּלאַקיישאַנז. דאָ איז אַ גרונט איבערבליק פון ווי עס אַרבעט:
1. וואַקוום קאַמער: דער פּראָצעס פּאַסירט אין אַ וואַקוום קאַמער צו רעדוצירן קאַנטאַמאַניישאַן און ערמעגלעכן בעסערע קאָנטראָל איבער דעם דעפּאָזיציע פּראָצעס.
2. ציל מאַטעריאַל: דער מאַטעריאַל וואָס מען דאַרף אַוועקלייגן איז באַקאַנט ווי דער ציל. דאָס ווערט געשטעלט אינעווייניק אין דער וואַקוום קאַמער.
3. סאַבסטראַט: דער סאַבסטראַט איז דער מאַטעריאַל אויף וועלכן דער דינער פילם וועט ווערן אָפּגעלייגט. עס ווערט אויך געשטעלט אינעווייניק אין דער וואַקוום קאַמער.
4. פּלאַזמע דזשענעריישאַן: אַן אינערט גאַז, טיפּיש אַרגאָן, ווערט אַרײַנגעפֿירט אין דער קאַמער. אַ הויכע וואָולטאַזש ווערט אָנגעווענדט צום ציל, שאַפֿנדיק אַ פּלאַזמע (אַ צושטאַנד פֿון מאַטעריע וואָס באַשטייט פֿון פֿרײַע עלעקטראָנען און יאָנען).
5. שפּריצן: יאָנען פֿון דער פּלאַזמע קאָלידירן מיטן ציל מאַטעריאַל, אַראָפּוואַרפֿנדיק אַטאָמען אָדער מאָלעקולן פֿון דער ציל. די פּאַרטיקלען פֿאָרן דאַן דורך דעם וואַקוום און לייגן זיך אָפּ אויף דער סאַבסטראַט, פֿאָרמענדיק אַ דין פֿילם.
6. קאנטראל: די גרעב און צוזאמענשטעלונג פון דעם פילם קען גענוי קאנטראלירט ווערן דורך צופאסן פאראמעטערס ווי די מאכט וואס ווערט אנגעווענדעט צום ציל, דער דרוק פון דעם אינערטן גאז, און די געדויער פון דעם שפריצן פראצעס.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: יולי-12-2024