אָפּטיש קאָוטינג מאַשין פּראָדוקציע פּראָצעס

דער אַרבעטספֿלוס פֿון אָפּטישע קאָוטערס נעמט געוויינטלעך אײַן די פֿאָלגנדיקע הויפּט טריט: פֿאָרבאַהאַנדלונג, קאָוטינג, פֿילם מאָניטאָרינג און אַדזשאַסטמענט, קילן און אַראָפּנעמען. דער ספּעציפֿישער פּראָצעס קען זײַן אַנדערש לויטן טיפּ עקוויפּמענט (אַזאַ ווי פֿאַרדאַמפּונג קאָוטער, ספּאַטערינג קאָוטער, אאַז"וו) און קאָוטינג פּראָצעס (אַזאַ ווי איין-שיכטיקער פֿילם, מער-שיכטיקער פֿילם, אאַז"וו), אָבער בכלל, איז דער פּראָצעס פֿון אָפּטיש קאָוטינג בערך ווי פֿאָלגט:
ערשטנס, די צוגרייטונג־פאַזע
רייניקונג און צוגרייטונג פון אָפּטישע קאָמפּאָנענטן:
פארן באַדעקן, דאַרפן אָפּטישע קאָמפּאָנענטן (ווי לענסעס, פילטערס, אָפּטיש גלאָז, אאז"וו) גרינטלעך ריין געמאַכט ווערן. דער שריט איז די באַזע צו זיכער מאַכן די קוואַליטעט פון דער באַדעקן. אָפט גענוצטע רייניקונג מעטאָדן אַרייַננעמען אַלטראַסאַניק רייניקונג, פּיקלינג, דאַמף רייניקונג און אַזוי ווייטער.
די ריינע אָפּטישע עלעמענטן ווערן געוויינטלעך געשטעלט אויף דעם ראָטירנדיקן מיטל אָדער קלאַמערן סיסטעם פון דער קאָוטינג מאַשין צו ענשור אַז זיי קענען בלייבן סטאַביל בעת דעם קאָוטינג פּראָצעס.
פאָרבאַהאַנדלונג פון וואַקוום קאַמער:
איידער מען לייגט אריין דעם אפטישן עלעמענט אין דער באדעק-מאשין, דארף מען פאמפן די באדעק-קאמער צו א געוויסן גראד וואקיום. די וואקיום-אומגעבונג קען עפעקטיוו אוועקנעמען אומריינקייטן, זויערשטאף און וואסער-פארע אין דער לופט, פארמיידן זיי פון רעאגירן מיטן באדעק-מאטעריאל, און זיכער מאכן די ריינקייט און קוואליטעט פון דעם פילם.
בכלל, דאַרף די קאָוטינג קאַמער דערגרייכן אַ הויכן וואַקוום (10⁻⁵ ביז 10⁻⁶ Pa) אָדער אַ מיטלערן וואַקוום (10⁻³ ביז 10⁻⁴ Pa).
צווייטנס, דער קאָוטינג פּראָצעס
סטאַרטינג קאָוטינג מקור:
די קאָוטינג מקור איז געוויינטלעך פארדאַמפּונג מקור אָדער ספּאַטערינג מקור. פאַרשידענע קאָוטינג קוועלער וועלן אויסגעקליבן ווערן לויט די קאָוטינג פּראָצעס און מאַטעריאַל.
פארדאַמפּונג מקור: די קאָוטינג מאַטעריאַל ווערט געהייצט צו אַן פארדאַמפּונג צושטאַנד מיט אַ הייצונג מיטל, אַזאַ ווי אַן עלעקטראָן שטראַל פארדאַמפּער אָדער אַ קעגנשטעל הייצונג פארדאַמפּער, אַזוי אַז זייַנע מאַלעקולן אָדער אַטאָמען פארדאַמפּפן און ווערן דעפּאַזיטירט אויף דער ייבערפלאַך פון דעם אָפּטישן עלעמענט אין אַ וואַקוום.
שפּאַטערינג קוואַל: דורך אָנווענדן אַ הויך וואָולטאַזש, קאָלידירט די ציל מיט יאָנען, שפּאַטערינג אויס די אַטאָמען אָדער מאָלעקולן פון דער ציל, וואָס ווערן דעפּאַזירט אויף דער ייבערפלאַך פון דעם אָפּטישן עלעמענט צו שאַפֿן אַ פֿילם.
פילם מאַטעריאַל דעפּאַזישאַן:
אין אַ וואַקוום סביבה, פֿאַרדאַמפּט אָדער שפּרייט זיך דער באדעקטער מאַטעריאַל פֿון אַ מקור (ווי אַ פֿאַרדאַמפּונג מקור אָדער ציל) און דעפּאָנירט ביסלעכווייַז אויף דער ייבערפלאַך פֿון דעם אָפּטישן עלעמענט.
די דעפּאָזיציע ראַטע און פילם גרעב דאַרפֿן פּינקטלעך קאָנטראָלירט ווערן צו זיכער מאַכן אַז די פילם שיכט איז אייניג, קאָנטינויִערלעך, און טרעפֿט די פּלאַן רעקווירעמענץ. פּאַראַמעטערס בעת דעפּאָזיציע (אַזאַ ווי קראַנט, גאַז שטראָם, טעמפּעראַטור, אאז"ו ו) וועלן גלייך ווירקן די קוואַליטעט פון די פילם.
פילם מאָניטאָרינג און גרעב קאָנטראָל:
אין דעם קאָוטינג פּראָצעס, ווערט די גרעב און קוואַליטעט פון דער פילם געוויינטלעך מאָניטאָרירט אין פאַקטישער צייט, און די אָפט גענוצטע מאָניטאָרינג מכשירים זענען קוואַרץ קריסטאַל מיקראָבאַלאַנס (QCM) ** און אַנדערע סענסאָרן, וואָס קענען אַקיעראַטלי דעטעקטירן די דעפּאָזיציע קורס און גרעב פון דער פילם.
באַזירט אויף די מאָניטאָרינג דאַטן, קען די סיסטעם אויטאָמאַטיש אַדזשאַסטירן פּאַראַמעטערס ווי די מאַכט פון די קאָוטינג מקור, די גאַז לויפן קורס אָדער די ראָטאַציע גיכקייַט פון די קאָמפּאָנענט צו האַלטן די קאָנסיסטענסי און יונאַפאָרמאַטי פון די פילם שיכט.
מערשיכטיקע פילם (אויב נויטיק):
פֿאַר אָפּטישע קאָמפּאָנענטן וואָס דאַרפן אַ מולטי-שיכטיקע סטרוקטור, ווערט דער קאָוטינג פּראָצעס געוויינטלעך דורכגעפירט שיכט ביי שיכט. נאָך דעם ווי יעדער שיכט ווערט אַוועקגעלייגט, וועט די סיסטעם דורכפירן איבערגעחזרטע פילם גרעב דעטעקציע און אַדזשאַסטמענט צו זיכער מאַכן אַז די קוואַליטעט פון יעדער שיכט פילם טרעפט די פּלאַן רעקווייערמענץ.
דער פּראָצעס פארלאנגט פּינקטלעכע קאָנטראָל איבער די גרעב און מאַטעריאַל טיפּ פון יעדער שיכט צו ענשור אַז יעדער שיכט קען דורכפירן פונקציעס ווי אָפּשפּיגלונג, טראַנסמיסיע אָדער ינטערפיראַנס אין אַ ספּעציפישן כוואַליע קייט.
דריטנס, קילן און אַרויסנעמען
סי-די:
נאכדעם וואס די באדעקונג איז פארטיג, דארפן די אפּטיק און די באדעקונג מאשין אפגעקילט ווערן. ווייל עקוויפּמענט און קאמפאנענטן קענען ווערן הייס בעת דעם באדעקונג פראצעס, דארפן זיי אפגעקילט ווערן צו צימער טעמפעראטור דורך א קיל סיסטעם, ווי למשל קיל וואסער אדער לופט שטראם, כדי צו פארמיידן טערמישע שאדן.
אין עטלעכע הויך-טעמפּעראַטור קאָוטינג פּראָצעסן, קאָאָלינג ניט בלויז פּראַטעקץ די אָפּטיש עלעמענט, אָבער אויך ינייבאַלז די פילם צו דערגרייכן אָפּטימאַל אַדכיזשאַן און פעסטקייַט.
אַראָפּנעמען דעם אָפּטישן עלעמענט:
נאכדעם וואס די קילונג איז פארטיג, קען מען ארויסנעמען דעם אפטישן עלעמענט פון דער באדעק-מאשין.
איידער מען נעמט עס ארויס, איז נויטיג צו קאנטראלירן דעם באדעק-עפעקט, אריינגערעכנט די איינהייטלעכקייט פון דער פילם-שיכט, פילם-גרעב, אדכעזיע, א.א.וו., כדי צו זיכער מאכן אז די באדעק-קוואליטעט טרעפט די באדערפענישן.
4. נאָך-באַאַרבעטונג (אַפּשאַנאַל)
פילם פארהאַרטונג:
מאנchmal דארף מען פארהארטעווען די באדעקטע פילם כדי צו פארבעסערן די קראץ-קעגנשטעל און הארטקייט פונעם פילם. דאס ווערט געווענליך געטאן דורך מיטלען ווי היץ-באהאנדלונג אדער אולטראוויאלעט שטראלונג.
פילם רייניקונג:
כּדי צו באַזײַטיקן קאַנטאַמאַנאַנץ, אָילס אָדער אַנדערע אומריינקייטן פֿון דער ייבערפֿלאַך פֿון דער פֿילם, קען זײַן נייטיק דורכצופֿירן אַ קליינע רייניקונג, ווי רייניקונג, אַלטראַסאַניק באַהאַנדלונג, אאַז"וו.
5. קוואַליטעט דורכקוק און טעסטינג
אָפּטישע פאָרשטעלונג טעסט: נאָך דעם ווי די קאָוטינג איז געענדיקט, ווערן דורכגעפירט אַ סעריע פאָרשטעלונג טעסץ אויף די אָפּטישע קאָמפּאָנענט, אַרייַנגערעכנט ליכט טראַנסמיטאַנס, רעפלעקטיוויטי, פילם יוניפאָרמאַטי, אאז"ו ו, צו ענשור אַז עס טרעפט די טעכנישע באדערפענישן.
אַדכעזשאַן טעסט: דורך טייפּ טעסט אָדער קראַצן טעסט, קאָנטראָלירן צי די אַדכעזשאַן צווישן די פילם און די סאַבסטראַט איז שטאַרק.
אומגעבונג פעסטקייט טעסטינג: מאל איז עס נייטיק צו דורכפירן פעסטקייט טעסטינג אונטער אומגעבונג באדינגונגען ווי טעמפּעראַטור, הומידיטי און אולטראַוויאָלעט ליכט צו ענשור די פאַרלאָזלעכקייט פון די קאָוטינג שיכטע אין פּראַקטישע אַפּלאַקיישאַנז.

–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ