הקדמה: פֿון פֿאַרבינדונגען ביז מיקראָן-לעוועל טשאַלאַנדזשיז
מיט דער שנעלער פארשריט פון 5G קאָמוניקאַציע, AI סערווערס, אוןאַוואַנסירטע פּאַקאַדזשינג טעכנאָלאָגיעס,PCB (געדרוקטע קרייז ברעט) פאבריקאציע האט זיך אנטוויקלט אין א הויך-דענסיטי, מיקראָוויאַ-געטריבענע פּלאַטפאָרמע. די אדאפטאציע פון HDI ברעטער, מולטי-שיכטיקע PCBs, און IC סאַבסטראַטן סיגנאַלירט דעם איבערגאַנג אין דער מיקראָן-וואָג פאבריקאציע תקופה, וואו וויאַ דרילינג שפּילט אַ באַשטימענדיקע ראָלע אין פאָרמירן פאַרלאָזלעכע צווישן-שיכטיקע עלעקטרישע ינטערקאַנעקשאַנז (וויאַ ינטערקאַנעקץ). אָבער, ווי דרילינג דיאַמעטערס שרינקען אונטער 0.2 מם און אפילו 0.1 מם, קאַנווענשאַנאַל מאַשינינג צוגאַנגען זענען ינקריסינגלי ניט ביכולת צו טרעפן די פאדערונגען פון הויך-פרעקווענץ מאַטעריאַלס און אולטראַ-פּינקטלעכקייט פּראָדוקציע, מאכן געצייַג טראָגן, מיקראָ דריל ברייקידזש, און אַנסטאַביל לאָך וואַנט קוואַליטעט קריטיש טשאַלאַנדזשיז ינפלוענסינג PCB ייעלד און פאבריקאציע קאָנסיסטענסי.
פּראַסעסינג טשאַלאַנדזשיז אין מיקראָוויאַ דרילינג
אין הויך-דענסיטי פּקב פאַבריקאַציע, איז מיקראָ דרילינג אַ העכסט סענסיטיוו פּראָצעס וואָס ווערט באַהאַנדלט דורך געצייַג צושטאַנד, מאַטעריאַל נאַטור, און שנייד דינאַמיק. ביי גאָר הויכע שפּינדל ספּידז, אָפט דערגרייכן צענדליקער טויזנטער ביז הונדערטער טויזנטער רפּם, מאַכט די גאָר לימיטירטע שנייד-ראַנד פון מיקראָ דרילז זיי העכסט סאַסעפּטאַבאַל צו טערמישע עפֿעקטן, וואָס פאַרגיכערן געצייַג טראָגן, פאַרגרעסערן די קאָעפיציענט פון רייַבונג, און פירן צו נישט-סטאַביל שנייד באדינגונגען. ווי די שנייד-ראַנד דעגראַדירט, מאַטעריאַל באַזייַטיקונג גייט איבער אין דעפאָרמאַציע און טרער, ריזאַלטינג אין לאָך וואַנט ראַפנאַס, באַר פאָרמירונג, און רעזין אַדכיזשאַן, אַלע פון וואָס אַקיומיאַלייט אַריבער דענסע מיקראָוויאַ אַררייז און באַדייטנד רעדוצירן פּראָצעס פעסטקייַט.
די פראבלעם ווערט נאך מער אויסגעשפראכן ווען מען מאשינירט פארגעשריטענע הויך-פרעקווענץ סובסטראטן ווי PTFE, BT רעזין, און ABF מאטעריאלן, וואו נידעריגע מאדולוס און הויכע אדכעזיע אייגנשאפטן העלפן פארשפרייטן רעזין פארשמירן (Smear) און וויקינג עפעקטן (Wicking) צוזאמען די וויא ווענט. די חסרונות פארדרייען די וויא געאמעטריע, קאמפראמיטירן דימענסיאנעלע גענויקייט, און נעגאטיוו אפעקטירן נאכלאס פראצעסן ווי מעטאליזאציע און עלעקטראפלאטינג פארלעסלעכקייט, וואס שטעלט פאר ערנסטע ריזיקעס פאר הויך-ענד אפליקאציעס ווי IC סובסטראטן, וואו חסרונות טאלעראנץ איז גאר נידעריג.
אויסוואל פון ייבערפלאַך אינזשעניריע און קאָוטינג טעכנאָלאָגיע
כדי צו פֿאַרבעסערן מיקראָ באָר פאָרשטעלונג, איז ייבערפלאַך אינזשעניריע דורך אַוואַנסירטע קאָוטינג טעקנאַלאַדזשיז עסענטשעל. כאָטש עלעקטראָלעסס פּלייטינג און CVD (כעמישע דאַמף דעפּאַזישאַן) קענען פֿאַרבעסערן ייבערפלאַך כאַרדנאַס צו אַ געוויסער מאָס, זיי פאָרשטעלן לימיטיישאַנז אין מיקראָ-וואָג אַפּלאַקיישאַנז, אַרייַנגערעכנט שלעכט קאָוטינג גרעב יונאַפאָרמאַטי, הויך דעפּאַזישאַן טעמפּעראַטור, פּאָטענציעל סאַבסטראַט שעדיקן, און עלעוואַטעד רעזידואַל דרוק וואָס פירט צו קאָוטינג דעלאַמיניישאַן אונטער הויך-גיכקייַט מאַשינינג באדינגונגען.
אין קאנטראסט, PVD (פיזישע פארע דעפאזיציע) וואקיום קאוטינג טעכנאלאגיע אפערט א מער פאסיגע לייזונג פאר מיקרא דרילינג אפליקאציעס, ווייל עס ערמעגליכט נידעריג-טעמפּעראַטור דעפאזיציע פון געדיכט, איינהייטלעך דין פילמען מיט אויסגעצייכנטער אדכעזיע, פארקלענערטער פריקציע קאעפיציענט, און פארבעסערטער טראָגן קעגנשטעל, עפעקטיוו סטאביליזירנדיג דעם שנייד פראצעס בשעת מינימיזירן רעזין פארשמירן און פארבעסערן לאך וואנט אינטעגריטעט.
זשענהואַ וואַקוום מיקראָ דריל קאָוטינג לייזונג
די MFA0605 PVD קאָוטינג סיסטעם איז ספּעציעל אינזשענירט פֿאַר הויך-פאָרשטעלונג געצייַג קאָוטינג אַפּלאַקיישאַנז אין די PCB אינדוסטריע. אויסגעשטאַט מיט אַ זיך-דעוועלאָפּעד אַרק יאָן פּלייטינג פֿילטערינג סיסטעם, עס יפעקטיוולי עלימינירט מאַקראָ-פּאַרטיקלען דזשענערייטאַד בעשאַס דעפּאָזישאַן, ענשורינג העכער פילם קוואַליטעט און קאָוטינג יוניפאָרמאַטי. די סיסטעם שטיצט אַוואַנסירטע Ta-C (טעטראַהעדראַל אַמאָרפֿאַס טשאַד) קאָוטינגז, דעליווערינג אַולטראַ-הויך כאַרדנאַס אַרויף צו 63 GPa, צוזאַמען מיט נידעריק רייַבונג קאָואַפישאַנט, ויסגעצייכנט קעראָוזשאַן קעגנשטעל, און באַטייטיק עקסטענדעד געצייַג לעבן. אין דער זעלביקער צייט, עס איז טויגעוודיק פון דעפּאָזיטינג אַ ברייט קייט פון הויך-פאָרשטעלונג קאָוטינגז אַזאַ ווי AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, און CrN, מאכן עס העכסט אַדאַפּטאַבאַל פֿאַר PCB מיקראָ דריללס, קאַטינג מכשירים, פּרעסיסיאָן פורעם, און אָטאַמאָוטיוו קאַמפּאָונאַנץ, בשעת מיינטיינינג סטאַביל קאָוטינג אַדכיזשאַן, ויסגעצייכנט באַטש קאָנסיסטענסי, און הויך-עפעקטיווקייַט דין פילם דעפּאָזישאַן פאָרשטעלונג אין מאַסע פּראָדוקציע ינווייראַנמאַנץ.
מסקנא
ווי פּקב פאַבריקאַציע גייט ווייטער פאָרויס צו העכערע געדיכטקייט, קלענערע וויאַס, און מער קאָמפּליצירטע סטרוקטורן, איז מיקראָ דרילינג קייפּאַבילאַטי געוואָרן אַ דעפינירנדיקער פאַקטאָר אין פּראָדוקציע קוואַליטעט און קאָנקורענץ. אין דעם קאָנטעקסט, איז געצייַג קאָוטינג ניט מער אַ סאַפּלעמענטאַרי פֿאַרבעסערונג, נאָר אַ קריטישע ענייבאַלינג טעכנאָלאָגיע וואָס באַשטימט גלייך געצייַג לעבן, לאָך קוואַליטעט, און קוילעלדיק פּראָצעס פעסטקייט. ניצנדיק PVD וואַקוום קאָוטינג טעכנאָלאָגיע, זשענהואַ וואַקוום פֿאַרבעסערט קעסיידער קאָוטינג יוניפאָרמאַטי, פילם פעסטקייט, און פּראָדוקציע קאָנסיסטענסי, ענייבאַלינג פאַרלאָזלעך פאָרשטעלונג אין הויך-פרעקווענץ מאַטעריאַלס און אַלטראַ-פיין מיקראָוויאַ דרילינג.
— ארויסגעגעבן דורך זשענהואַ וואַקוום, איינער פון די צען גרעסטע פאַבריקאַנטן פוןf וואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענט
פּאָסט צייט: 16טן מערץ 2026