Өмнөх үг: Харилцан холболтоос микрон түвшний сорилтууд хүртэл
5G харилцаа холбоо, хиймэл оюун ухааны серверүүд хурдацтай хөгжиж байгаатай холбогдууландэвшилтэт сав баглаа боодлын технологиуд,Хэвлэмэл хэлхээний самбар (Хэвлэмэл хэлхээний самбар) үйлдвэрлэл нь өндөр нягтралтай, микровиагаар удирддаг платформ болж хөгжсөн. Хүний хөгжлийн индексийн самбар, олон давхаргат хэлхээний самбар, IC субстратыг нэвтрүүлсэн нь микрон хэмжээний үйлдвэрлэлийн эрин үе рүү шилжиж байгааг харуулж байгаа бөгөөд өрөмдлөгөөр дамжуулан найдвартай давхаргын цахилгаан холболтыг (Via Interconnects) бий болгоход шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг. Гэсэн хэдий ч өрөмдлөгийн диаметр 0.2 мм, тэр ч байтугай 0.1 мм-ээс доош агших тусам уламжлалт боловсруулалтын аргууд нь өндөр давтамжийн материал, хэт нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийн шаардлагыг хангах чадваргүй болж, багажны элэгдэл, микро өрмийн эвдрэл, тогтворгүй нүхний ханын чанар нь хэлхээний самбарын гарц болон үйлдвэрлэлийн тогтвортой байдалд нөлөөлөх чухал бэрхшээлүүдийг бий болгож байна.
Микровиа өрөмдлөгийн боловсруулалтын бэрхшээлүүд
Өндөр нягтралтай ПХБ үйлдвэрлэлд бичил өрөмдлөг нь багажны нөхцөл байдал, материалын зан төлөв, зүсэлтийн динамикаар зохицуулагддаг маш мэдрэмтгий процесс юм. Хэт өндөр эргэлтийн хурдтай үед, ихэвчлэн хэдэн арван мянгаас хэдэн зуун мянган RPM хүртэл хурдтай байдаг тул бичил өрмийн маш хязгаарлагдмал ирмэг нь дулааны нөлөөнд маш мэдрэмтгий болгодог бөгөөд энэ нь багажны элэгдлийг хурдасгаж, үрэлтийн коэффициентийг нэмэгдүүлж, тогтворгүй зүсэлтийн нөхцөлд хүргэдэг. Зүсэлтийн ирмэг муудах үед материалын зүсэлт нь деформаци, урагдал руу шилжиж, нүхний хананы барзгаржилт, цэврүү үүсэх, давирхайн наалдац үүсэх зэрэг нь нягт бичил давхаргад хуримтлагдаж, процессын тогтвортой байдлыг мэдэгдэхүйц бууруулдаг.
Энэ асуудал нь PTFE, BT давирхай, ABF материал зэрэг дэвшилтэт өндөр давтамжтай субстратуудыг боловсруулах үед бүр ч тод илэрдэг бөгөөд бага модуль болон өндөр наалдамхай шинж чанар нь хананы дагуу давирхайн түрхэц (Smear) болон нэвчих нөлөө (Wicking)-ийг нэмэгдүүлдэг. Эдгээр согогууд нь геометрээр дамжин гажуудал үүсгэж, хэмжээст нарийвчлалыг алдагдуулж, металлжуулалт болон электролизийн найдвартай байдал зэрэг дараагийн процессуудад сөргөөр нөлөөлж, согогийн тэсвэрлэлт маш бага байдаг IC субстрат гэх мэт өндөр зэрэглэлийн хэрэглээнд ноцтой эрсдэл учруулдаг.
Гадаргуугийн инженерчлэл ба бүрэх технологийн сонголт
Микро өрмийн гүйцэтгэлийг сайжруулахын тулд дэвшилтэт бүрэх технологиор дамжуулан гадаргуугийн инженерчлэл хийх нь чухал юм. Электролизгүй бүрэх болон CVD (химийн уурын тунадасжилт) нь гадаргуугийн хатуулгийг тодорхой хэмжээгээр нэмэгдүүлж болох ч бичил хэмжээний хэрэглээнд хязгаарлалтууд байдаг бөгөөд үүнд бүрхүүлийн зузаан жигд бус байдал, тунадасны өндөр температур, суурь гэмтэх магадлал, өндөр хурдтай боловсруулалтын нөхцөлд бүрхүүлийн хальслалтад хүргэдэг үлдэгдэл стресс зэрэг орно.
Үүний эсрэгээр, PVD (Физик уурын хуримтлал) вакуум бүрхүүлийн технологи нь бичил өрөмдлөгийн хэрэглээнд илүү тохиромжтой шийдлийг санал болгодог бөгөөд энэ нь маш сайн наалддаг, үрэлтийн коэффициентийг бууруулсан, элэгдэлд тэсвэртэй нягт, жигд нимгэн хальсыг бага температурт хуримтлуулах боломжийг олгодог бөгөөд давирхайн түрхлэгийг багасгаж, нүхний хананы бүрэн бүтэн байдлыг сайжруулж, зүсэх процессыг үр дүнтэй тогтворжуулдаг.
Zhenhua вакуум бичил өрмийн бүрхүүлийн уусмал
MFA0605 PVD бүрхүүлийн систем нь Хэлхээний хэлхээний үйлдвэрлэлийн өндөр хүчин чадалтай багажны бүрхүүлийн хэрэглээнд зориулан тусгайлан бүтээгдсэн. Өөрөө боловсруулсан нуман ионы бүрхүүлийн шүүлтүүрийн системээр тоноглогдсон тул тунадасжуулалтын явцад үүссэн макро хэсгүүдийг үр дүнтэй арилгаж, дээд зэргийн хальсны чанар, бүрхүүлийн жигд байдлыг хангадаг. Систем нь дэвшилтэт Ta-C (төрт талт аморф нүүрстөрөгч) бүрхүүлийг дэмжиж, 63 ГПа хүртэл хэт өндөр хатуулагтай, бага үрэлтийн коэффициент, маш сайн зэврэлтээс хамгаалах чадвартай, багажны ашиглалтын хугацааг мэдэгдэхүйц уртасгадаг. Үүний зэрэгцээ, энэ нь AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN зэрэг олон төрлийн өндөр хүчин чадалтай бүрхүүлийг тунадасжуулах чадвартай бөгөөд энэ нь Хэлхээний хэлхээний бичил өрөм, зүсэх хэрэгсэл, нарийн хэв, автомашины эд ангиудад маш сайн дасан зохицох чадвартай бөгөөд массын үйлдвэрлэлийн орчинд бүрхүүлийн тогтвортой наалдац, маш сайн багцын тууштай байдал, өндөр үр ашигтай нимгэн хальсны тунадасжуулалтын гүйцэтгэлийг хадгалдаг.
Дүгнэлт
Хэлхээний хэвлэмэл материалын үйлдвэрлэл өндөр нягтралтай, жижиг нүхтэй, илүү нарийн бүтэцтэй болохын хэрээр бичил өрөмдлөгийн чадвар нь үйлдвэрлэлийн чанар, өрсөлдөх чадварыг тодорхойлох хүчин зүйл болж байна. Энэ хүрээнд багажны бүрэлт нь нэмэлт сайжруулалт биш харин багажны ашиглалтын хугацаа, нүхний чанар, нийт процессын тогтвортой байдлыг шууд тодорхойлдог чухал технологи юм. PVD вакуум бүрэх технологийг ашиглан Zhenhua вакуум нь бүрэлтийн жигд байдал, хальсны тогтвортой байдал, үйлдвэрлэлийн тогтвортой байдлыг тасралтгүй сайжруулж, өндөр давтамжийн материал болон хэт нарийн микровиа өрөмдлөгийн найдвартай ажиллагааг хангаж байна.
— Шилдэг арван үйлдвэрлэгчийн нэг болох Zhenhua Vacuum-аас нийтлэгдсэнf вакуум бүрэх тоног төхөөрөмж
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 3-р сарын 16