បុព្វកថា៖ ពីការតភ្ជាប់អន្តរទំនាក់ទំនងរហូតដល់បញ្ហាប្រឈមកម្រិតមីក្រូន
ជាមួយនឹងការរីកចម្រើនយ៉ាងឆាប់រហ័សនៃការទំនាក់ទំនង 5G ម៉ាស៊ីនមេ AI និងបច្ចេកវិទ្យាវេចខ្ចប់ទំនើប,ការផលិត PCB (Printed Circuit Board) បានវិវត្តទៅជាវេទិកាដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់ និងជំរុញដោយមីក្រូវីយ៉ា។ ការទទួលយកបន្ទះ HDI, PCB ច្រើនស្រទាប់ និងស្រទាប់ IC បង្ហាញពីការផ្លាស់ប្តូរទៅក្នុងយុគសម័យផលិតកម្មខ្នាតមីក្រូ ដែលការខួងតាមរយៈដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការបង្កើតការតភ្ជាប់អគ្គិសនីអន្តរស្រទាប់ដែលអាចទុកចិត្តបាន (Via Interconnects)។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ដោយសារតែអង្កត់ផ្ចិតខួងរួញក្រោម 0.2 មីលីម៉ែត្រ និងសូម្បីតែ 0.1 មីលីម៉ែត្រ វិធីសាស្រ្តកែច្នៃបែបប្រពៃណីកាន់តែមិនអាចបំពេញតម្រូវការនៃវត្ថុធាតុដើមប្រេកង់ខ្ពស់ និងការផលិតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលធ្វើឱ្យការពាក់ឧបករណ៍ ការបាក់ខួងខ្នាតតូច និងគុណភាពជញ្ជាំងរន្ធមិនស្ថិតស្ថេរជាបញ្ហាប្រឈមដ៏សំខាន់ដែលប៉ះពាល់ដល់ទិន្នផល PCB និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃការផលិត។
បញ្ហាប្រឈមនៃដំណើរការក្នុងការខួងមីក្រូវីយ៉ា
នៅក្នុងការផលិត PCB ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ ការខួងខ្នាតតូចគឺជាដំណើរការដែលងាយរងគ្រោះខ្លាំង ដែលគ្រប់គ្រងដោយស្ថានភាពឧបករណ៍ ឥរិយាបថសម្ភារៈ និងឌីណាមិកកាត់។ នៅល្បឿន spindle ខ្ពស់ខ្លាំង ដែលជារឿយៗឈានដល់រាប់ម៉ឺនទៅរាប់រយពាន់ RPM គែមកាត់មានកំណត់ខ្លាំងនៃសមយុទ្ធខ្នាតតូចធ្វើឱ្យវាងាយនឹងរងផលប៉ះពាល់កម្ដៅខ្ពស់ ដែលបង្កើនល្បឿនការពាក់ឧបករណ៍ បង្កើនមេគុណកកិត និងនាំឱ្យមានលក្ខខណ្ឌកាត់មិនស្ថិតស្ថេរ។ នៅពេលដែលគែមកាត់ចុះខ្សោយ ការដកសម្ភារៈផ្លាស់ប្តូរទៅជាការខូចទ្រង់ទ្រាយ និងការរហែក ដែលបណ្តាលឱ្យមានភាពរដុបនៃជញ្ជាំងរន្ធ ការបង្កើត burr និងការស្អិតជ័រ ដែលទាំងអស់នេះកកកុញនៅទូទាំងអារេ microvia ក្រាស់ និងកាត់បន្ថយស្ថេរភាពដំណើរការយ៉ាងខ្លាំង។
បញ្ហានេះកាន់តែច្បាស់ឡើងៗ នៅពេលដែលម៉ាស៊ីនកែច្នៃស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានប្រេកង់ខ្ពស់ដូចជា PTFE ជ័រ BT និងសម្ភារៈ ABF ដែលម៉ូឌុលទាប និងលក្ខណៈស្អិតខ្ពស់ជំរុញឱ្យមានស្នាមប្រឡាក់ជ័រ (Smear) និងផលប៉ះពាល់នៃការស្រូបយក (Wicking) តាមបណ្តោយជញ្ជាំងឆ្លងកាត់។ ពិការភាពទាំងនេះបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយតាមរយៈធរណីមាត្រ ធ្វើឱ្យខូចភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រ និងប៉ះពាល់អវិជ្ជមានដល់ដំណើរការខាងក្រោម រួមទាំងភាពជឿជាក់នៃការធ្វើលោហៈ និងអេឡិចត្រូផ្លាទីង ដែលបង្កហានិភ័យធ្ងន់ធ្ងរសម្រាប់កម្មវិធីកម្រិតខ្ពស់ដូចជាស្រទាប់ខាងក្រោម IC ដែលការអត់ធ្មត់ពិការភាពមានកម្រិតទាបបំផុត។
ការជ្រើសរើសបច្ចេកវិទ្យាវិស្វកម្មផ្ទៃ និងថ្នាំកូត
ដើម្បីកែលម្អដំណើរការខួងខ្នាតតូច វិស្វកម្មផ្ទៃតាមរយៈបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតកម្រិតខ្ពស់គឺមានសារៈសំខាន់។ ខណៈពេលដែលការដាក់បន្ទះដោយមិនប្រើអេឡិចត្រូត និង CVD (ការដាក់ចំហាយគីមី) អាចបង្កើនភាពរឹងនៃផ្ទៃក្នុងកម្រិតខ្លះ ពួកវាបង្ហាញពីដែនកំណត់ក្នុងការអនុវត្តខ្នាតតូច រួមទាំងឯកសណ្ឋានកម្រាស់ថ្នាំកូតមិនល្អ សីតុណ្ហភាពការដាក់ស្រទាប់ខ្ពស់ ការខូចខាតស្រទាប់ខាងក្រោមដែលអាចកើតមាន និងភាពតានតឹងសំណល់ខ្ពស់ ដែលនាំឱ្យមានការបែកស្រទាប់ថ្នាំកូតក្រោមលក្ខខណ្ឌម៉ាស៊ីនល្បឿនលឿន។
ផ្ទុយទៅវិញ បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតសុញ្ញកាស PVD (Physical Vapor Deposition) ផ្តល់នូវដំណោះស្រាយដែលសមស្របជាងសម្រាប់កម្មវិធីខួងខ្នាតតូច ព្រោះវាអនុញ្ញាតឱ្យមានការដាក់ស្រទាប់ស្តើងៗ និងឯកសណ្ឋាននៅសីតុណ្ហភាពទាបជាមួយនឹងការស្អិតជាប់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ មេគុណកកិតថយចុះ និងភាពធន់នឹងការពាក់ប្រសើរឡើង ដែលធ្វើឱ្យដំណើរការកាត់មានស្ថេរភាពប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ខណៈពេលដែលកាត់បន្ថយស្នាមប្រឡាក់ជ័រ និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពសុចរិតនៃជញ្ជាំងរន្ធ។
ដំណោះស្រាយថ្នាំកូតខួងខ្នាតតូចសម្រាប់ម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
ប្រព័ន្ធថ្នាំកូត PVD MFA0605 ត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់កម្មវិធីថ្នាំកូតឧបករណ៍ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់នៅក្នុងឧស្សាហកម្ម PCB។ បំពាក់ដោយប្រព័ន្ធច្រោះបន្ទះអ៊ីយ៉ុងធ្នូដែលអភិវឌ្ឍដោយខ្លួនឯង វាលុបបំបាត់ភាគល្អិតម៉ាក្រូដែលបង្កើតឡើងក្នុងអំឡុងពេលដាក់ស្រទាប់ការពារយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ដែលធានាបាននូវគុណភាពខ្សែភាពយន្ត និងឯកសណ្ឋានថ្នាំកូតដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ ប្រព័ន្ធនេះគាំទ្រថ្នាំកូត Ta-C (កាបូនអាម៉ូហ្វូស tetrahedral) កម្រិតខ្ពស់ ដែលផ្តល់នូវភាពរឹងខ្ពស់ខ្លាំងរហូតដល់ 63 GPa រួមជាមួយនឹងមេគុណកកិតទាប ភាពធន់នឹងការច្រេះដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងអាយុកាលឧបករណ៍យូរជាងមុន។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ វាមានសមត្ថភាពដាក់ស្រទាប់ថ្នាំកូតដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ជាច្រើនប្រភេទដូចជា AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN និង CrN ដែលធ្វើឱ្យវាអាចសម្របខ្លួនបានខ្ពស់សម្រាប់សមយុទ្ធខ្នាតតូច PCB ឧបករណ៍កាត់ ផ្សិតដែលមានភាពជាក់លាក់ និងគ្រឿងបន្លាស់រថយន្ត ខណៈពេលដែលរក្សាបាននូវភាពស្អិតជាប់នៃថ្នាំកូតដែលមានស្ថេរភាព ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងដំណើរការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់នៅក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្មទ្រង់ទ្រាយធំ។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
ដោយសារការផលិត PCB បន្តរីកចម្រើនឆ្ពោះទៅរកដង់ស៊ីតេខ្ពស់ ច្រកតូចជាង និងរចនាសម្ព័ន្ធស្មុគស្មាញជាងនេះ សមត្ថភាពខួងមីក្រូបានក្លាយជាកត្តាកំណត់មួយនៅក្នុងគុណភាពផលិតកម្ម និងការប្រកួតប្រជែង។ នៅក្នុងបរិបទនេះ ការស្រោបឧបករណ៍លែងជាការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពបន្ថែមទៀតហើយ ប៉ុន្តែជាបច្ចេកវិទ្យាដ៏សំខាន់ដែលកំណត់ដោយផ្ទាល់នូវអាយុកាលឧបករណ៍ គុណភាពរន្ធ និងស្ថេរភាពដំណើរការទាំងមូល។ ដោយទាញយកអត្ថប្រយោជន៍ពីបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតបូមធូលី PVD ក្រុមហ៊ុន Zhenhua Vacuum បន្តធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋានថ្នាំកូត ស្ថេរភាពខ្សែភាពយន្ត និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃផលិតកម្ម ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានដំណើរការដែលអាចទុកចិត្តបាននៅក្នុងសម្ភារៈប្រេកង់ខ្ពស់ និងការខួងមីក្រូវីសល្អិតល្អន់បំផុត។
— បោះពុម្ពផ្សាយដោយ Zhenhua Vacuum ដែលជាក្រុមហ៊ុនផលិតកំពូលទាំងដប់របស់f ឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលី
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៦ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៦