די ריכטונג פון קריסטאַלינע סיליקאָן צעל טעכנאָלאָגיע אַנטוויקלונג כולל אויך PERT טעכנאָלאָגיע און Topcon טעכנאָלאָגיע, די צוויי טעכנאָלאָגיעס ווערן באַטראַכט ווי אַ פאַרלענגערונג פון דער טראַדיציאָנעלער דיפוזיע מעטאָד צעל טעכנאָלאָגיע, זייערע געמיינזאַמע קעראַקטעריסטיקס זענען פּאַסיוואַציע שיכט אויף דער הינטערשטער זייט פון דער צעל, און ביידע נוצן אַ שיכט פון דאָפּעד פּאָלי סיליקאָן ווי די הינטערשטע פעלד, די שולע איז מערסטנס געניצט אין הויך-טעמפּעראַטור אַקסאַדייזד שיכט, און די דאָפּעד פּאָלי סיליקאָן שיכט איז געניצט אין דעם וועג פון LPCVD און PECVD, עטק. טובולאַר PECVD און טובולאַר PECVD און פלאַך פּלאַטע PECVD זענען געניצט געוואָרן אין דער גרויס-וואָג מאַסע פּראָדוקציע פון PERC צעלן.
טובולאַר PECVD האט אַ גרויסע קאַפּאַציטעט און בכלל ניצט אַ נידעריק-פרעקווענץ מאַכט צושטעל פון עטלעכע צענדליגער kHz. יאָן באָמבאַרדירונג און בייפּאַס פּלייטינג פּראָבלעמען קענען אַפעקטירן די קוואַליטעט פון די פּאַסיוויישאַן שיכט. פלאַך פּלאַטע PECVD האט נישט קיין פּראָבלעם פון בייפּאַס פּלייטינג, און האט אַ גרעסערן מייַלע אין קאָוטינג פאָרשטעלונג, און קען ווערן גענוצט פֿאַר די דעפּאָזיציע פון דאָפּעד Si, Si0X, SiCX פילמען. דער חסרון איז אַז די פּלייטאַד פילם כּולל אַ פּלאַץ פון הידראָגען, גרינג צו פאַרשאַפן בליסטערינג פון די פילם שיכט, לימיטעד אין די גרעב פון די קאָוטינג. lpcvd קאָוטינג טעכנאָלאָגיע ניצט רער אויוון קאָוטינג, מיט אַ גרויס קאַפּאַציטעט, קענען דעפּאָזיט דיקער פּאָליסיליקאָן פילם, אָבער עס וועט זיין אַרום די פּלייטינג אַקערז, אין די lpcvd פּראָצעס נאָך די באַזייַטיקונג פון אַרום די פּלייטינג פון די פילם שיכט און טוט נישט שאַטן די דנאָ שיכט. מאַסע-פּראָדוצירט טאָפּקאָן סעלז האָבן אַטשיווד אַ דורכשניטלעך קאַנווערזשאַן עפעקטיווקייַט פון 23%.
——דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשיןגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: סעפּטעמבער 22, 2023