Với sự phát triển ngày càng tăng của công nghệ phủ phun, đặc biệt là công nghệ phủ phun magnetron, hiện nay, đối với bất kỳ vật liệu nào cũng có thể chế tạo bằng màng mục tiêu bắn phá ion, vì mục tiêu bị bắn phá trong quá trình phủ lên một số loại chất nền, chất lượng của màng bắn phá có tác động quan trọng, do đó, yêu cầu về vật liệu mục tiêu cũng khắt khe hơn. Trong quá trình lựa chọn vật liệu mục tiêu, ngoài việc sử dụng bản thân màng nên được lựa chọn, cũng nên xem xét các vấn đề sau:
1. Vật liệu mục tiêu phải có độ bền cơ học và độ ổn định hóa học tốt sau khi hình thành màng
2. Sự kết hợp giữa mục tiêu và chất nền phải mạnh, nếu không thì phải thực hiện với chất nền có sự kết hợp tốt giữa vật liệu màng, trước tiên phải phun một lớp màng nền rồi mới chuẩn bị lớp màng cần thiết.
3. Vật liệu làm màng phun phản ứng phải dễ phản ứng với khí để tạo thành hợp chất màng; 4.
4. Trên cơ sở đáp ứng các yêu cầu về hiệu suất của màng, chênh lệch giữa hệ số giãn nở nhiệt của vật liệu mục tiêu và chất nền phải càng nhỏ càng tốt, nhằm giảm thiểu tác động của ứng suất nhiệt lên màng phun.
Ảnh hưởng của ứng suất nhiệt của màng phun; 5.
5. Theo yêu cầu sử dụng và hiệu suất của màng, vật liệu mục tiêu phải đáp ứng độ tinh khiết, hàm lượng tạp chất, tính đồng nhất của thành phần, độ chính xác gia công và các yêu cầu kỹ thuật khác.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 21-12-2023