Cho'kuvchi vakuum qoplamasi - bu materialning nozik plyonkalarini substratga joylashtirish uchun ishlatiladigan qurilma. Ushbu jarayon odatda yarimo'tkazgichlar, quyosh batareyalari va optik va elektron ilovalar uchun turli xil qoplamalarni ishlab chiqarishda qo'llaniladi. Bu qanday ishlashining asosiy ko'rinishi:
1.Vakuum kamerasi: ifloslanishni kamaytirish va cho'kish jarayonini yaxshiroq nazorat qilish uchun jarayon vakuum kamerasi ichida amalga oshiriladi.
2.Target Material: Depozit qilinadigan material maqsad sifatida tanilgan. Bu vakuum kamerasiga joylashtiriladi.
3.Substrat: Substrat yupqa plyonka yotqiziladigan materialdir. Vakuum kamerasiga ham joylashtiriladi.
4.Plazma ishlab chiqarish: kameraga inert gaz, odatda argon kiritiladi. Maqsadga yuqori kuchlanish qo'llaniladi, bu plazma hosil qiladi (erkin elektronlar va ionlardan iborat moddaning holati).
5.Sputtering: Plazmadagi ionlar maqsadli material bilan to'qnashadi, atomlar yoki molekulalarni nishondan uradi. Keyin bu zarralar vakuumdan o'tib, yupqa plyonka hosil qilib, substratga cho'kadi.
6.Nazorat: Filmning qalinligi va tarkibi nishonga qo'llaniladigan quvvat, inert gazning bosimi va püskürtme jarayonining davomiyligi kabi parametrlarni sozlash orqali aniq nazorat qilinishi mumkin.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Yuborilgan vaqt: 2024 yil 12 iyul