Yupqa plyonkali cho'ktirish yarimo'tkazgichlar sanoatida, shuningdek, materialshunoslik va muhandislikning boshqa ko'plab sohalarida qo'llaniladigan asosiy jarayondir. Bu substratda yupqa material qatlamini yaratishni o'z ichiga oladi. Cho'ktirilgan plyonkalar bir nechta atom qatlamlaridan tortib bir necha mikrometr qalinlikgacha bo'lgan turli xil qalinliklarga ega bo'lishi mumkin. Bu plyonkalar elektr o'tkazgichlari, izolyatorlar, optik qoplamalar yoki himoya to'siqlari kabi ko'plab maqsadlarga xizmat qilishi mumkin.
Yupqa plyonkali qatlamlarni yotqizishda qo'llaniladigan asosiy usullar:
Fizik bug'lanish cho'kmasi (PVD)
Purkash: Yuqori energiyali ion nuri maqsadli materialdan atomlarni urib tushirish uchun ishlatiladi, keyin u substratga cho'kadi.
Bug'lanish:** Material vakuumda bug'languncha isitiladi, so'ngra bug' substratda kondensatsiyalanadi.
Atom qatlamining cho'kishi (ALD)
ALD - bu plyonka substratda bir vaqtning o'zida bitta atom qatlami ustida o'stiriladigan usul. U yuqori darajada boshqariladi va juda aniq va konformal plyonkalar yaratishi mumkin.
Molekulyar nur epitaksiyasi (MBE)
MBE - bu epitaksial o'sish texnikasi bo'lib, unda atomlar yoki molekulalar nurlari qizdirilgan substratga yo'naltirilib, kristalli yupqa plyonka hosil qiladi.
Yupqa plyonkali cho'ktirishning afzalliklari
Kengaytirilgan funksionallik: Plyonkalar substratga yangi xususiyatlarni, masalan, tirnalishga chidamlilik yoki elektr o'tkazuvchanligini taqdim etishi mumkin.
Materiallardan foydalanishni kamaytirish: Bu xarajatlarni kamaytirish orqali minimal material sarfi bilan murakkab qurilmalarni yaratishga imkon beradi.
Moslashtirish: Filmlar ma'lum mexanik, elektr, optik yoki kimyoviy xususiyatlarga ega bo'lishi uchun moslashtirilishi mumkin.
Ilovalar
Yarimo'tkazgichli qurilmalar: Tranzistorlar, integral mikrosxemalar va mikroelektromexanik tizimlar (MEMS).
Optik qoplamalar: Linzalar va quyosh batareyalaridagi aks ettiruvchi va yuqori aks ettiruvchi qoplamalar.
Himoya qoplamalari: Asboblar va mashinalarning korroziyasini yoki aşınmasını oldini olish uchun.
Biotibbiy qo'llanmalar: Tibbiy implantlar yoki dori vositalarini yetkazib berish tizimlariga qoplamalar.
Cho'ktirish texnikasini tanlash qo'llanilishning o'ziga xos talablariga, jumladan, cho'ktiriladigan material turiga, kerakli plyonka xususiyatlariga va narx cheklovlariga bog'liq.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2024-yil 15-avgust