کرسٹل لائن سلکان سیل ٹیکنالوجی کی ترقی کی سمت میں PERT ٹیکنالوجی اور Topcon ٹیکنالوجی بھی شامل ہیں، ان دونوں ٹیکنالوجیز کو روایتی ڈفیوژن میتھڈ سیل ٹیکنالوجی کی توسیع کے طور پر سمجھا جاتا ہے، ان کی عام خصوصیات سیل کے پچھلے حصے پر گزرنے والی تہہ ہیں، اور دونوں ڈوپڈ پولی سلیکون کی ایک تہہ کو بیک فیلڈ کے طور پر استعمال کرتے ہیں، سکول زیادہ تر سلیکون لیئر کا استعمال کیا جاتا ہے اور ہائی ڈوپڈ پولی سلیکون میں استعمال ہوتا ہے۔ ایل پی سی وی ڈی اور پی ای سی وی ڈی وغیرہ کی راہ میں ٹیوبلر پی ای سی وی ڈی اور ٹیوبلر پی ای سی وی ڈی اور فلیٹ پلیٹ پی ای سی وی ڈی کو پی ای آر سی سیلز کی بڑے پیمانے پر پیداوار میں استعمال کیا گیا ہے۔
نلی نما پی ای سی وی ڈی کی صلاحیت بڑی ہے اور عام طور پر کئی دسیوں کلو ہرٹز کی کم فریکوئنسی پاور سپلائی اختیار کرتی ہے۔ آئن بمباری اور بائی پاس پلیٹنگ کے مسائل گزرنے والی پرت کے معیار کو متاثر کر سکتے ہیں۔ فلیٹ پلیٹ PECVD میں بائی پاس پلیٹنگ کا مسئلہ نہیں ہے، اور کوٹنگ کی کارکردگی میں اس کا زیادہ فائدہ ہے، اور ڈوپڈ Si، Si0X، SiCX فلموں کو جمع کرنے کے لیے استعمال کیا جا سکتا ہے۔ نقصان یہ ہے کہ چڑھایا ہوا فلم بہت زیادہ ہائیڈروجن پر مشتمل ہے، فلم کی پرت میں چھالے پیدا کرنے میں آسان، کوٹنگ کی موٹائی تک محدود ہے۔ ٹیوب فرنس کوٹنگ کا استعمال کرتے ہوئے lpcvd کوٹنگ ٹیکنالوجی، ایک بڑی صلاحیت کے ساتھ، موٹی پولی سیلیکون فلم جمع کر سکتے ہیں، لیکن پلیٹنگ کے ارد گرد موجود ہو جائے گا، lpcvd کے عمل میں فلم کی پرت کی چڑھانا کے ارد گرد ہٹانے کے بعد اور نیچے کی پرت کو چوٹ نہیں پہنچاتی ہے۔ بڑے پیمانے پر تیار کردہ Topcon سیلز نے 23% کی اوسط تبادلوں کی کارکردگی حاصل کی ہے۔
——یہ مضمون جاری کیا گیا ہے۔ویکیوم کوٹنگ مشینگوانگ ڈونگ زینہوا
پوسٹ ٹائم: ستمبر 22-2023

