Зі зростаючим розвитком технології напилення, особливо технології магнетронного напилення, наразі для будь-якого матеріалу можна отримати плівку мішені шляхом іонного бомбардування. Оскільки мішень розпилюється в процесі нанесення покриття на певну підкладку, якість напиленої плівки має важливий вплив, тому вимоги до матеріалу мішені також стають суворішими. При виборі матеріалу мішені, окрім використання самої плівки, слід також враховувати такі питання:
1. Цільовий матеріал повинен мати добру механічну міцність та хімічну стабільність після формування плівки
2. Поєднання мішені та підкладки має бути міцним, інакше слід використовувати підкладку з гарним поєднанням мембранного матеріалу, спочатку напилюючи базову плівку, а потім готуючи необхідний мембранний шар.
3 як матеріал мембрани для реакційного розпилення повинен легко реагувати з газом для утворення мембранних сполук; 4.
4. За умови відповідності вимогам щодо продуктивності мембрани, різниця між коефіцієнтом теплового розширення цільового матеріалу та підкладки має бути якомога меншою, щоб мінімізувати вплив теплового напруження на напилену мембрану.
Вплив термічного напруження напилюваної плівки; 5.
5. Відповідно до вимог до використання та експлуатаційних характеристик мембрани, цільовий матеріал повинен відповідати чистоті, вмісту домішок, однорідності компонентів, точності обробки та іншим технічним вимогам.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 21 грудня 2023 р.