Вакуумний розпилювальний апарат – це пристрій, який використовується для нанесення тонких плівок матеріалу на підкладку. Цей процес зазвичай використовується у виробництві напівпровідників, сонячних елементів та різних типів покриттів для оптичних та електронних застосувань. Ось основний огляд того, як він працює:
1. Вакуумна камера: Процес відбувається всередині вакуумної камери, щоб зменшити забруднення та забезпечити кращий контроль над процесом осадження.
2. Цільовий матеріал: Матеріал, який осаджується, називається мішенню. Його розміщують у вакуумній камері.
3. Підкладка: Підкладка – це матеріал, на який буде нанесена тонка плівка. Вона також розміщується всередині вакуумної камери.
4. Генерація плазми: Інертний газ, зазвичай аргон, вводиться в камеру. До мішені прикладається висока напруга, створюючи плазму (стан речовини, що складається з вільних електронів та іонів).
5. Розпилення: Іони плазми стикаються з матеріалом мішені, вибиваючи атоми або молекули з мішені. Ці частинки потім проходять через вакуум і осідають на підкладці, утворюючи тонку плівку.
6. Контроль: Товщину та склад плівки можна точно контролювати, регулюючи такі параметри, як потужність, що прикладається до мішені, тиск інертного газу та тривалість процесу розпилення.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 12 липня 2024 р.