خىرۇستال كرېمنىي ھۈجەيرىسىنى تەرەققىي قىلدۇرۇشنىڭ يۆنىلىشى يەنە PERT تېخنىكىسى ۋە Topcon تېخنىكىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، بۇ ئىككى خىل تېخنىكا ئەنئەنىۋى تارقىلىش ئۇسۇلى ھۈجەيرە تېخنىكىسىنىڭ كېڭىيىشى دەپ قارىلىدۇ ، ئۇلارنىڭ ئورتاق ئالاھىدىلىكى ھۈجەيرىنىڭ ئارقا تەرىپىدىكى پاسسىپ قەۋەت قەۋىتى ، ھەر ئىككىسى بىر قەۋەت دوپپا پولى كرېمنىينى ئارقا ساھە قىلىپ ئىشلىتىدۇ ، بۇ مەكتەپ كۆپىنچە يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئوكسىدلانغان قەۋەتتە ئىشلىتىلىدۇ ، TUB ۋە PEC ۋە PEC. PECVD ۋە تەكشى تاختاي PECVD PERC ھۈجەيرىسىنى كەڭ كۆلەمدە ئىشلەپچىقىرىشتا ئىشلىتىلگەن.
تۇرۇبا PECVD سىغىمى چوڭ بولۇپ ، ئادەتتە نەچچە ئون كىلوگراملىق تۆۋەن چاستوتىلىق توك بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئىئون بومبا پارتىلاش ۋە ئايلىنىپ ئۆتۈش تاختىسىدىكى مەسىلىلەر پاسسىپ قەۋەتنىڭ سۈپىتىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ. تەكشى تاختاي PECVD نىڭ ئايلىنىپ ئۆتۈش تاختىسىدا مەسىلە يوق ، ھەمدە سىرلاش ئىقتىدارىدا تېخىمۇ چوڭ ئەۋزەللىكى بار ، كۆپەيتىلگەن Si ، Si0X ، SiCX فىلىملىرىنى چۆكۈشكە ئىشلىتىشكە بولىدۇ. كەمچىلىكى شۇكى ، يالىتىلغان پىلاستىنكىنىڭ تەركىبىدە ھىدروگېن كۆپ بولۇپ ، پەردە قېلىنلىقى چەكلىك بولغان كىنو قەۋىتىنىڭ قاپارتمىسىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. lpcvd سىرلاش تېخنىكىسى تۇرۇبا ئوچاق قەۋىتىنى ئىشلىتىپ ، سىغىمى چوڭ ، قېلىن پولىسسىكون پىلاستىنكىسىنى ساقلىيالايدۇ ، ئەمما تەخسە ئەتراپىدا بولىدۇ ، lpcvd جەرياندا پىلاستىنكا قەۋىتىنىڭ تاختىسىنى ئېلىۋەتكەندىن كېيىن ، ئاستى قەۋەتكە زىيان يەتكۈزمەيدۇ. تۈركۈملەپ ئىشلەپچىقىرىلغان Topcon ھۈجەيرىلىرى ئوتتۇرىچە ئايلىنىش ئۈنۈمىنى% 23 كە يەتكۈزدى.
—— بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم سىرلاش ماشىنىسىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
يوللانغان ۋاقتى: 22-سېنتەبىردىن 20-سېنتەبىرگىچە