Чакырылган вакуум пальтер - нечкә материалның субстратына урнаштыру өчен кулланыла торган җайланма. Бу процесс гадәттә ярымүткәргечләр, кояш күзәнәкләре, оптик һәм электрон кушымталар өчен төрле төр капламалар җитештерүдә кулланыла. Менә аның ничек эшләве турында төп күзәтү:
1. Вакуум палатасы: процесс вакуум камерасы эчендә пычрануны киметү һәм чүпләү процессын яхшырак контрольдә тоту өчен бара.
2. Максат материалы: Сакланырга тиешле материал максат буларак билгеле. Бу вакуум камерасы эченә урнаштырылган.
3.Субстрат: субстрат - нечкә пленка урнаштырылачак материал. Ул шулай ук вакуум камерасы эченә урнаштырылган.
4.Плазма буыны: палатага инерт газ, гадәттә аргон кертелә. Плазма (ирекле электроннар һәм ионнардан торган матдә торышы) барлыкка китереп, максатка югары көчәнеш кулланыла.
5.Суптеринг: Плазмадагы ионнар максат материалы белән бәрелешәләр, атомнарны яки молекулаларны бәреп төшерәләр. Аннары бу кисәкчәләр вакуум аша узалар һәм нечкә пленка ясыйлар.
6.Контроль: Фильмның калынлыгы һәм составы төгәл контрольдә тотыла ала, мәсәлән, максатка кулланылган көч, инерт газы басымы, чәчү процессының озынлыгы.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 12-2024 июль