Кристалл кремний күзәнәк технологиясен үстерү юнәлешенә шулай ук PERT технологиясе һәм Topcon технологиясе керә, бу ике технология традицион диффузия ысулы күзәнәк технологиясенең киңәюе булып санала, аларның уртак характеристикалары күзәнәкнең арткы ягында пассивация катламы, һәм икесе дә арткы кыр кебек поли кремний катламын кулланалар, мәктәп күбесенчә югары температуралы оксидлаштырылган катламда кулланыла, һәм TEC полуб кремний катламы, PVD һәм TEC PUB PEC һәм PEC. PECVD һәм яссы тәлинкә PECVD зур масштаблы PERC күзәнәкләрен җитештерүдә кулланылган.
Күперле PECVD зур сыйдырышлыкка ия һәм гадәттә берничә дистә кГц аз ешлыклы электр белән тәэмин итүне кабул итә. Ион бомбардирациясе һәм әйләнеп чыгу проблемалары пассивация катламының сыйфатына тәэсир итә ала. Тигез тәлинкә PECVD әйләнәсе белән каплау проблемасына ия түгел, һәм каплау эшендә зуррак өстенлеккә ия, һәм Si, Si0X, SiCX пленкаларын күчереп алу өчен кулланырга мөмкин. Кимчелек - капланган пленкада бик күп водород бар, кино катламының чәчәк атуына җиңел, каплау калынлыгында чикләнгән. lpcvd каплау технологиясе, зур сыйдырышлы, калын полисилик пленка урнаштыра ала, ләкин плитка тирәсендә булачак, lpcvd процессында кино катламы капланганнан соң һәм аскы катламга зыян китерми. Масса-күләм җитештерелгән Topcon күзәнәкләре уртача конверсия эффективлыгына 23% ирештеләр.
—— Бу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасыГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 22-2023 сентябрь