Püskürtme vakumlu kaplayıcı, bir alt tabaka üzerine ince malzeme filmleri biriktirmek için kullanılan bir cihazdır. Bu işlem genellikle yarı iletkenlerin, güneş pillerinin ve optik ve elektronik uygulamalar için çeşitli kaplama türlerinin üretiminde kullanılır. İşte nasıl çalıştığına dair temel bir genel bakış:
1.Vakum Odası: İşlem, kirlenmeyi azaltmak ve biriktirme işlemi üzerinde daha iyi kontrol sağlamak için bir vakum odasının içinde gerçekleşir.
2.Hedef Malzeme: Biriktirilecek malzemeye hedef denir. Bu, vakum odasının içine yerleştirilir.
3.Substrat: Substrat, ince filmin biriktirileceği malzemedir. Ayrıca vakum odasının içine yerleştirilir.
4.Plazma Üretimi: Genellikle argon olan inert bir gaz hazneye sokulur. Hedefe yüksek voltaj uygulanarak bir plazma (serbest elektronlardan ve iyonlardan oluşan bir madde hali) oluşturulur.
5.Püskürtme: Plazmadan gelen iyonlar hedef malzemeyle çarpışır, atomları veya molekülleri hedeften uzaklaştırır. Bu parçacıklar daha sonra vakumdan geçerek alt tabakaya yerleşir ve ince bir film oluşturur.
6.Kontrol: Hedefe uygulanan güç, inert gazın basıncı ve püskürtme işleminin süresi gibi parametrelerin ayarlanmasıyla filmin kalınlığı ve bileşimi hassas bir şekilde kontrol edilebilir.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: 12-Tem-2024